鑠思百檢測(cè)

DETECTION OF TECHNICAL SOUSEPAD

紫外光電子能譜（UPS）

?項(xiàng)目簡(jiǎn)介

UPS用于測(cè)定導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料的功函數(shù)與價(jià)帶頂。

?樣品要求

1. 塊體樣品要求平整，干凈，導(dǎo)電性好，尺寸必須大于5*5mm-小于10*10mm左右，厚度小于2mm；粉末樣品優(yōu)先選擇旋涂法，基材材質(zhì)為ITO、FTO、單晶硅片等半導(dǎo)體材料，且表面導(dǎo)電性連續(xù)，不能使用刻蝕后基材制樣，尺寸必須大于5*5mm-小于等于10*10mm左右，厚度小于2mm，薄膜盡可能做的較薄，涂完膜干燥后能看到薄薄一層樣品即可。

2.粉體樣品需要制備為薄膜，參考制備方法及要求如下：先把粉末（粉末顆粒直徑最好在1萬(wàn)目以下）樣品分散在水或乙醇里（濃度盡量低點(diǎn)），旋涂滴在ITO上烘干，可以多循環(huán)幾次，一定要保證膜表面盡量平整、均勻、連續(xù)、整潔，ITO尺寸必須大于5*5mm-小于10*10mm左右，涂完膜干燥后膜層以完全覆蓋住ITO即可（膜層厚度10-50nm即可），膜層的電阻最好小于10千歐，最大不能超過30千歐。

?結(jié)果展示

測(cè)試結(jié)果一般給出的是excel等格式的原始數(shù)據(jù)。

?常見問題

1. 測(cè)試結(jié)果為什么跟文獻(xiàn)或者預(yù)期有偏差？

第一，由于UPS測(cè)量中光激發(fā)電子的動(dòng)能在0-20eV范圍，在此能量區(qū)間的電子逃逸深度較小，且隨能量急劇變化，材料表面的導(dǎo)電性、污染程度和粗糙度等因素會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生較大影響，輕則導(dǎo)致譜圖的峰位移動(dòng)和峰形變化，重則導(dǎo)致無(wú)信號(hào)。UPS適用于分析表面均勻潔凈的導(dǎo)體以及導(dǎo)電性較好的半導(dǎo)體薄膜材料。對(duì)于合成的粉末樣品，影響因素較多，UPS測(cè)試存在一定風(fēng)險(xiǎn) ； 第二，UPS測(cè)試過程中，紫外光的掃描范圍僅為樣品中的某個(gè)微小區(qū)域，如果樣品制備不均勻，或者測(cè)試區(qū)域恰好條件不佳，也可能會(huì)影響測(cè)試結(jié)果；

2. 測(cè)試?yán)蠋熃o出的數(shù)據(jù)分析結(jié)果準(zhǔn)確嗎，是否可以調(diào)整？

測(cè)試?yán)蠋熃o出的只是分析結(jié)果僅供參考，因?yàn)闇y(cè)試?yán)蠋煵恢烂總€(gè)樣品具體是什么材料，只能根據(jù)自己的習(xí)慣和經(jīng)驗(yàn)大致作圖分析，所以我們一般還需要根據(jù)對(duì)樣品性質(zhì)的了解，對(duì)數(shù)據(jù)分析結(jié)果微調(diào)甚至大的調(diào)整。

3. UPS是否需要清潔表面

因UPS采集信息較淺，若樣品表面容易變質(zhì)， 可清潔掉表面材料（一般10nm內(nèi)），測(cè)試清潔后的樣品表面

4. 偏壓和無(wú)偏壓的數(shù)據(jù)分別時(shí)候時(shí)候用？

①無(wú)偏壓模式：驗(yàn)證樣品導(dǎo)電性、測(cè)定價(jià)帶頂；

②偏壓模式：測(cè)定功函數(shù)、價(jià)帶頂，驗(yàn)證半導(dǎo)體類型（P型/N型）。

5. 怎么分析價(jià)帶頂和功函數(shù)

未加偏壓：看低結(jié)合能一側(cè)（費(fèi)米邊），做切線與右側(cè)直線（平行于X軸）的交點(diǎn)，即為價(jià)帶頂。

示例：

若數(shù)據(jù)為施加偏壓后的，例如，加-5V偏壓，則需要先校正，看高結(jié)合能一側(cè)（二次電子截止邊），做切線與左側(cè)直線（平行于X軸）的交點(diǎn)，用21.22減去交點(diǎn)的值，即為功函數(shù)。

6. XPS和UPS在測(cè)試上的異同

?測(cè)試提示：

1.可開正規(guī)測(cè)試發(fā)票，附帶測(cè)試清單。

2.有腐蝕性，毒性，或其他有危害性等特殊樣品要事先告知測(cè)試人員，測(cè)試人員也要告知樣品方哪些樣品不能測(cè)或會(huì)對(duì)儀器產(chǎn)生損傷，測(cè)試后會(huì)對(duì)樣品產(chǎn)生哪些變化；

3.客戶需提供詳細(xì)的樣品資料，包括元素，主要成分和詳細(xì)測(cè)試參數(shù)及條件。和測(cè)試人員充分討論，商定最終測(cè)試條件；

4.測(cè)試人員與顧客通過QQ，微信或郵件溝通，出現(xiàn)測(cè)試糾紛，郵件或聊天記錄將作為重要的仲裁依據(jù)；請(qǐng)加QQ和技術(shù)人員交流。QQ：82187958。微信：15071040697

5.杜絕測(cè)試、解析和合成違反國(guó)家相關(guān)法律法規(guī)的樣品，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)將追究其法律責(zé)任。