鑠思百檢測

DETECTION OF TECHNICAL SOUSEPAD

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哪里可以測試白光干涉儀

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發(fā)表時間：2020-08-26 09:17作者：鑠思百檢測來源：鑠思百檢測

白光干涉儀



哪里可以測試白光干涉儀

白光干涉儀，又稱三維光學輪廓儀


主要技術參數(shù)

  1. 縱向測量范圍：可達10mm

  2. 垂直分辨率：＜0.1nm

  3. 臺階高度誤差：＜0.75%

  4. 最大測量范圍：1.7 x1.3 mm2（單張圖）



功能   

利用邁克爾遜干涉原理，測量光程差從而測量相關物理量，如厚度（mm）、臺階高度（nm）、折射率變化等?？蓪Ρ∧みM行厚度測量及分析。在超大視野內范圍內，對樣品表面形貌和紋理進行表征，從亞納米級到超過10毫米級垂直測量。

哪里可以測試白光干涉儀

（圖片來源于網(wǎng)絡）


用途

獲得材料粗糙度、薄膜厚度、臺階高度等信息；完成二維/三維表面分析以及高分辨成像。

實測案例

  • 測量臺階高度

哪里可以測試白光干涉儀


  • 測量分析特殊結構。軟件提供專門的分析工具。下圖顯示了柵線結構的周期、高度等信息。

哪里可以測試白光干涉儀


  • 圖像拼接功能


哪里可以測試白光干涉儀

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  • 獲得樣品的表面粗糙度信息


哪里可以測試白光干涉儀

儀器的主要特點

  1. 非接觸式表面測量系統(tǒng)，實現(xiàn)快速、高分辨精確測量；
  2. 擁有完美的無縫拼接能力，能夠快速對樣品不同區(qū)域進行掃描、把大量數(shù)據(jù)拼接成一張連續(xù)的完整圖像；
  3. 高分辨彩色成像，測試過程中可實時自動優(yōu)化



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