輪廓儀設(shè)備簡介

一、簡介

ST400型三維表面形貌儀是一款多功能的三維形貌儀，采用國際領(lǐng)先的白光共聚焦技術(shù)，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點，該儀器可用于測量大尺寸樣品，并具有多種選項，包含360°旋轉(zhuǎn)工作臺，原子力顯微鏡模塊，光學(xué)顯微鏡，特征區(qū)域定位等多種功能模塊。

二、功能用途

針對機床檢測測量三維輪廓、粗糙度。表面測量系統(tǒng)適用于研發(fā)和生產(chǎn)過程控制中的定性和定量測量，其核心部件達到納米尺度的創(chuàng)新的光學(xué)設(shè)計，其強大且友好的軟件控制使所需獲得的數(shù)據(jù)不僅速度快，而且精度高，并提供了多種不同的表面分析方法，與系統(tǒng)匹配的軟件包含參數(shù)設(shè)定(如掃描尺寸、線數(shù)、步進、轉(zhuǎn)換臺速度、數(shù)據(jù)采樣速度)和數(shù)據(jù)后處理功能(如Abbott-Firestone曲線、快速傅立葉變換、自相關(guān)功能、三維成像、二維切片成像等) ，可以定量地測量表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，諸如晶粒、膜厚、孔洞深度、長寬、線粗糙度、面粗糙度等，并計算關(guān)鍵部位的面積和體積等參數(shù)。

三、技術(shù)參數(shù)

垂直測量范圍：27mm

垂直分辨率：<2nm

掃描速度 20mm/s

橫向分辨率：0.1μm

測量范圍：150mm×150mm