SEM二次電子成像

SEM二次電子成像

SEM的成像過(guò)程中主要有三種信號(hào)：二次電子、背散射電子、特征X射線

二次電子可以反應(yīng)樣品表面的形貌特征，特征X射線可以反應(yīng)樣品表面元素分布，背散射電子則既反映了試樣的表面形貌也給出了試樣的化學(xué)成分信息。下面鑠思百檢測(cè)小編介紹一下二次電子：

二次電子：在入射電子束作用下被轟擊出來(lái)并離開樣品表面的樣品原子的核外電子叫做二次電子。二次電子一般都是在表層5~10nm深度范圍內(nèi)發(fā)射出來(lái)的，它對(duì)樣品的表面形貌十分敏感，因此，能非常有效的顯示樣品的表面形貌。二次電子的能量較低，一般不超過(guò)50eV。大多數(shù)二次電子只帶有幾個(gè)電子伏的能量。

二次電子產(chǎn)生

這是一種真空中的自由電子。由于原子核和外層價(jià)電子的結(jié)合力能很小，因此外層的電子比較容易和原子脫離，使原子電離。一個(gè)能量很高的入射電子射入樣品時(shí)，可以產(chǎn)生許多的自由電子，這些自由電子中90%是來(lái)自樣品原子外層的價(jià)電子。

二次電子原理

電子在固體里的非彈性平均自由徑（inelastic mean free path） 通常是具有普遍性，也就是說(shuō)無(wú)關(guān)于什么材料。這個(gè)距離對(duì)金屬來(lái)說(shuō)，通常是在幾個(gè)納米；對(duì)絕緣體來(lái)說(shuō)，在幾十個(gè)納米，一般來(lái)說(shuō)距離越小測(cè)量精度越高。而對(duì)低能量的電子（<5eV）來(lái)說(shuō)，則有更長(zhǎng)的平均自由徑。

二次電子成像

二次電子像主要是反映樣品表面10nm左右的形貌特征，像的襯度是形貌襯度，襯度的形成主要取于樣品表面相對(duì)于入射電子束的傾角。

如果樣品表面光滑平整（無(wú)形貌特征），則不形成襯度；而對(duì)于表面有一定形貌的樣品，其形貌可看成由許多不同傾斜程度的面構(gòu)成的凸尖、臺(tái)階、凹坑等細(xì)節(jié)組成，這些細(xì)節(jié)的不同部位發(fā)射的二次電子數(shù)不同，從而產(chǎn)生襯度。

二次電子像分辨率高、無(wú)明顯陰影效應(yīng)、場(chǎng)深大、立體感強(qiáng)，是掃描電鏡的主要成像方式（特別適用于粗糙樣品表面的形貌觀察），在材料及生命科學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用

二次電子是低能量電子，在收集柵的作用下可呈曲線軌跡進(jìn)入檢測(cè)器，翻越表面形貌造成的屏障。所以試樣表面的凸起和凹陷區(qū)域被激發(fā)出的二次電子都能進(jìn)入檢測(cè)器，得到的效果就是樣品是從各個(gè)方向被照亮了，這是二次電子適合用來(lái)成像的另一個(gè)巨大優(yōu)點(diǎn)。

以上就是鑠思百檢測(cè)小編對(duì)SEM測(cè)二次電子的介紹，如有測(cè)試需求，可以和鑠思百檢測(cè)聯(lián)系，我們會(huì)給與您最準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)和最好的服務(wù)體驗(yàn)，希望可以在大家的科研路上有所幫助。

溫馨提示

1、不定期推出各種優(yōu)惠活動(dòng)，詳情咨詢客服。

2、測(cè)試前聯(lián)系在線客服確認(rèn)測(cè)試條件、檢測(cè)費(fèi)用、檢測(cè)周期等。

檢測(cè)咨詢熱線：15071040697   黃工QQ：82187958

公司網(wǎng)站：www.gzbj666.cn

武漢鑠思百檢測(cè)技術(shù)有限公司