白光干涉儀能測(cè)什么

白光干涉儀目前在3D檢測(cè)領(lǐng)域是精度最高的測(cè)量?jī)x器之一，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它的儀器無(wú)法達(dá)到其加工精度要求。

原理：

光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開(kāi)發(fā)的超精密表面輪廓測(cè)量?jī)x器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表

面。從兩個(gè)表面反射的兩束光再次通過(guò)分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機(jī)感光面形成兩個(gè)疊加的像。由于兩束光相互干涉，在CCD相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測(cè)樣品的相對(duì)高度。

那白光干涉儀能做什么？

今天鑠思百檢測(cè)小編帶大家了解白光干涉儀的幾個(gè)經(jīng)典用途。

一、超精細(xì)粗糙度測(cè)量

（例1）玻璃鏡片 0.05nm 粗糙度測(cè)量 ·

二、臺(tái)階高度

（例2）掩模版臺(tái)階高度測(cè)量·

三、形貌觀察&測(cè)量

（例3-1）菲涅爾膜形貌測(cè)量

四、不同條件下實(shí)驗(yàn)形貌比對(duì)&測(cè)量

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