四探針測試儀原理

一、四探針電導(dǎo)率介紹

電阻率的測量是半導(dǎo)體材料常規(guī)參數(shù)測量項目之一。測量電阻率的方法很多，如三探針法、電容---電壓法、擴(kuò)展電阻法等。四探針法則是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法，在半導(dǎo)體工藝中最為常用。其主要優(yōu)點在于設(shè)備簡單，操作方便，精確度高，對樣品的幾何尺寸無嚴(yán)格要求。四探針法除了用來測量半導(dǎo)體材料的電阻率以外，在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中廣泛使用四探針法來測量擴(kuò)散層薄層電阻，以判斷擴(kuò)散層質(zhì)量是否符合設(shè)計要求。

二、四探針測試儀發(fā)展史

1865 年 首次提出四探針測試原理 湯姆森 ；

1920 年 第一次實際應(yīng)用，測量地球電阻率 Schlunberger ；

1954 年 第一次用于半導(dǎo)體電阻率測試 Valdes；

1980 年代 具有Mapping 技術(shù)的四點探針出現(xiàn)；

1999 年 開發(fā)出首臺微觀四點探針 Pertersen。

三、四探針測試原理圖

四根等距探針豎直的排成一排，同時施加適當(dāng)?shù)膲毫κ蛊渑c被測樣品表面形成歐姆連接，用恒流源給兩個外探針通以小電流 I，精準(zhǔn)電壓表測量內(nèi)側(cè)兩探針間電壓 V，根據(jù)相應(yīng)理論公式計算出樣品的薄膜電阻率。

四、四探針測試方法分類

最為常用的測試方法為直線（常規(guī)）四探針法和雙電測四探針法。

溫馨提示

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