掃描電鏡（SEM）知識(shí)大全

掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。

一、掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)有：

①有較高的放大倍數(shù)，20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào)；

②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；

③試樣制備簡單。

它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。

掃描電鏡結(jié)構(gòu)圖

二、掃描電子顯微鏡的原理：

由電子槍發(fā)出的電子束在電場的作用下加速，經(jīng)過三個(gè)透鏡聚焦成直徑為5nm或更細(xì)的電子束。該電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描，激發(fā)樣品產(chǎn)生出各種物理信號(hào)。信號(hào)探測器收集這些并按順序、成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號(hào)。通過對(duì)其中某種信號(hào)的撿測，視頻放大和信號(hào)處理，最終在顯示屏上獲得能反映樣品表面特征的掃描圖象。

三、掃描電鏡的應(yīng)用范圍

在樣品的處理過程中，有時(shí)需要提供包括形貌、成分、晶體結(jié)構(gòu)或位向在內(nèi)的豐富資料，以便能夠更全面、客觀地進(jìn)行判斷分析。為此，相繼出現(xiàn)了掃描電子顯微鏡—電子探針多種分析功能的組合型儀器。掃描電子顯微鏡如配有X射線能譜（EDS）和X射線波譜成分分析等電子探針附件，可分析樣品微區(qū)的化學(xué)成分等信息。

四、掃描電鏡的特點(diǎn)

5.綜合分析能力強(qiáng)：掃描電鏡的樣品室較大，可選用多種附件，對(duì)樣品進(jìn)行綜合分析。如：背散射附件（BSE）、能譜附件（EDS）、波譜附件（WDS）、陰極熒光附件（CL）、背散射電子衍射花樣附件（EBSD）、拉伸臺(tái)、加熱臺(tái)、冷臺(tái)、掃描透射附件、四探針等等。能獲取樣品的形貌、成分及分布、晶體結(jié)構(gòu)、物性等信息

五、掃描電子顯微鏡樣品的要求及制備

1、掃描電子顯微鏡樣品的要求

2、制樣流程：

1、塊體：直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺(tái)上測試，若需拍塊體/薄膜截面，需明確截面制備方法，一般可以提供剪刀裁剪和液氮脆斷兩種方式；

2、液體：用移液槍取樣品超聲后的懸濁液，滴一滴于硅片或錫紙上，自然風(fēng)干/紅外燈烘干，烘干后將硅片或錫紙用導(dǎo)電膠粘在樣品臺(tái)上測試；

3、粉末：（1）直接用導(dǎo)電膠粘在樣品臺(tái)上測試；（2）乙醇分散制樣：取少量樣品于離心管中，加入 一定量無水乙醇（或水），室溫超聲 5- 10min，隨后采用 2 中液體的制樣方式制樣測試。