一文了解XRD是做什么的

XRD是做什么的？XRD有什么作用。在此，鑠思百檢測小編用最簡潔易懂的語言對XRD從原理到應用進行了詳細的總結，希望能給大家一些幫助。

一、XRD簡介

XRD（X-ray Diffraction）中文全稱是X射線衍射，是一種快速、準確、高效的材料無損檢測技術。作為一種表征晶體結構及其變化規(guī)律的手段，其應用遍及材料、化學、生物、醫(yī)藥、陶瓷、冶金、礦產(chǎn)等諸多領域。但大多數(shù)新同學對于XRD的測試原理一知半解，對其應用停留在簡單的物相鑒別階段，對其不同樣品的測試要求和注意事項也不甚清楚。

二、XRD測試原理

1 X射線是什么？

1895年，德國物理學家W.K.倫琴首次發(fā)現(xiàn)了X射線的存在，故X射線又稱倫琴射線。X射線的本質(zhì)是一種波長極短（約為10-8 ~10-12 m），能量很大的電磁波，它具有波粒二象性。[1] 現(xiàn)代科學研究中，對于波長<0.1 nm的X射線稱為硬X射線，主要用于材料探傷；對于波長介于0.25~0.05 nm的稱為軟X射線，一般用于晶體結構分析。

2 X射線在晶體中的衍射行為

由于X射線具有極大的能量，當其到晶體中時，晶體中的原子會在X射線的作用下被迫做周期性的運動，從而會以原子球為單位對外發(fā)射次生波，該波的頻率與入射X射線一致，這個過程就成為X射線的散射（圖2）?？紤]到晶體中的原子在空間上呈周期性的規(guī)律排布，這些散射球面波之間存在著固定的位相關系，會在空間產(chǎn)生干涉，結果導致在某些散射方向的球面波相互加強，而在某些方向上相互抵消，從而也就出現(xiàn)衍射現(xiàn)象。[2] 因此，晶體中的X射線衍射實質(zhì)上就是大量原子散射波在空間上相互干涉的結果。

3 X射線衍射與材料結構的關聯(lián)

對于非晶體材料，由于其結構不存在晶體結構中原子排列的長程有序，只是在幾個原子范圍內(nèi)存在著短程有序，故非晶體材料的XRD圖譜為一些漫散射饅頭峰。然而，對于晶體材料，其原子排布在三維空間上長程有序，其XRD衍射圖譜只在特定的位置上出現(xiàn)加強峰（X射線衍射加強結果）。晶體產(chǎn)生的衍射花樣都反映出晶體內(nèi)部的原子分布規(guī)律。

概括地講，一個衍射花樣的特征，可以認為由兩個方面的內(nèi)容組成: a) 衍射線在空間的分布規(guī)律—由晶胞的大小、形狀和位向決定; b) 衍射線束的強度—取決于原子的種類和它們在晶胞中的位置。[1-3] 這些衍射花紋就像晶體的指紋一樣，通過鑒別衍射花紋的在空間上出現(xiàn)的位置和強度，即可在X射線衍射和晶體結構之間建立定性和定量關系。

（1）布拉格方程是衍射分析中最重要的基礎公式，是XRD理論的基石。它簡單明確地闡明衍射的基本內(nèi)涵，揭示了衍射與晶體結構的內(nèi)在關系。如圖3所示，當X射線照射到晶體中時，X射線在照射到相鄰兩晶面的光程差是2dsinθ。如果光程差等于X射線波長的n倍時，X射線的衍射強度將相互加強，反之在其他地方衍射強度不變或減弱。

nλ=2dsinθ, (n=1, 2, 3…..)

其中，λ, d, θ分別代表了X射線的波長，晶體晶面間距，入射X射線與相應晶面的夾角。

顯然，通過布拉格方程，可以用已知波長的X射線去求解晶體晶面間距d，從而獲得晶體結構信息，這就是結構分析；也可以用已知晶面間距的晶體來測量未知X射線的波長，這就是X射線光譜學。

（2）謝樂公式（Scherrer公式）則是XRD測晶粒度的理論基礎。它主要描述了晶粒尺寸與衍射峰半峰寬之間的關系。晶粒越小，XRD衍射線的峰就越彌散寬化；反之則越集中。

D=Kλ/Bcosθ

其中D, K, λ, B, θ分別為晶粒垂直于晶面方向的平均厚度、Scherrer常數(shù)、X射線波長、實測樣品衍射峰半高寬度（弧度）以及衍射角。Scherrer常數(shù)K的值一般由B來決定，當B為衍射峰半高寬，K=0.89；當K為衍射峰面積積分半高寬時，K=1。由于材料中的晶粒大小并不完全一樣，故該方法計算的是不同大小晶粒的平均尺寸。

圖4 布拉格實驗裝置簡圖

圖5 XRD粉末衍射儀

三、XRD測試的應用

XRD的典型應用可以分為定性和定量兩部分，常用的XRD分析有以下五大類（圖6）：（1）物相定性；（2）確定晶胞參數(shù)；（3）晶體取向度分析；（4）晶粒尺寸計算；（5）物相定量計算。下面我們結合實際案例對這些應用逐一進行詳解。

圖6 XRD的典型應用

1 物相定性分析

物相分析是XRD測試中最常見的應用，每一相的衍射圖形是唯一的，就像每個人的指紋一樣，只要我們將測得的XRD圖譜和數(shù)據(jù)庫中的標準卡片進行對比，即可確定其結構。根據(jù)XRD譜圖與標準譜的對比，我們可以得出以下信息：

①樣品是無定形還是晶體, 無定型樣品為大包峰，沒有精細譜峰結構；晶體則有豐富的譜線特征；②所測樣品的物相組成，純相還是非純相；iii) 判斷晶胞是否膨脹或者收縮。

如圖7所示，待測樣XRD峰形尖銳突出，與輝沸礦ZnSe標準卡高度重合，無明顯的雜質(zhì)峰存在，因此可判定待測樣為為高純的ZnSe。圖8給出了同類物質(zhì)不同結晶態(tài)的衍射圖譜。不難在圖8a中只有1個強峰和1個弱峰，這說明該材料內(nèi)晶粒存在明顯的取向，因此判斷樣品可能是單晶；而在圖8b中，樣品在所有的標準位置都檢測到明顯的衍射峰，說明該材料內(nèi)晶粒存取向是各向異性的，因此判斷樣品可能是多晶。圖9給出了Se摻雜的硫化鋅樣品在不同摻雜量下的XRD圖譜，可以看出隨著Se摻雜量的增加，樣品的衍射峰出現(xiàn)的位置逐漸向左偏移。結合布拉格衍射方程，可知衍射角變小，說明晶面間距變大。

4.2 定量計算

除了定性分析，XRD也能定量計算。常見的定量計算應用有：a) 利用謝樂公式計算樣品的平均晶粒尺寸；b) 樣品的相對結晶度；c) 利用Rietveld全譜精修測定點陣常數(shù)、分析應力應變、獲得鍵長鍵角信息等；d) 利用K值法或Rietveld全譜精修定量確定不同物相在晶體中的含量。

在陶瓷材料和結構材料中，晶粒尺寸對其性能影響較大。晶粒尺寸的計算依據(jù)是謝樂公式：當X射線入射到小晶體時，其衍射線條將變得彌散而寬化，晶體的晶粒越小，X射線衍射譜帶的寬化程度就越大。因此我們可以通過測定確定樣品衍射峰的半高寬來計算晶粒大小。在Jade軟件中已經(jīng)集成了這一功能，使用非常方便。按照圖10所示的操作步驟，我們得除了該樣品的平均晶粒尺寸為185nm。該方法主要適用于晶粒范圍為3~200 nm之間的樣品。

材料的結晶度對材料性能的影響尤為顯著。測定結晶度的方法很多，但不論哪種方法都是根據(jù)結晶相的衍射圖譜面積與非晶相圖譜面積決定，即結晶度=（衍射峰強度/總強度）×100%。圖11給出了晶體衍射峰和非晶散射峰的分離（通過Jade擬合分峰）和擬合的結果，通過計算得到樣品的絕對結晶度為63%。關于這部分的內(nèi)容，由于涉及到較多的軟件操作步驟，因篇幅有限不展開贅述。有興趣的同學推薦黃繼武老師的《多晶材料X射線衍射：實驗原理、方法與應用》一書，里面有非常詳細的報道。

盡管不通過精修就能獲得樣品的結構參數(shù)，但是獲得的結果往往是偏離實際的。因此為了提高結構參數(shù)的精度，采用Rietveld全譜擬合的方法對晶體結構的修正，從而得到材料的準確結構信息是很有必要的。圖12給出了Na摻雜前后樣品的XRD精修結構，并計算得出了相應的擬合數(shù)據(jù)（表2）。結果表面：Na摻雜替代了LiFePO4中的Li位。摻雜后材料晶胞參數(shù)a、c變大，b變小，晶胞體積V變大。

精修還可以用于測定混合相中的物相含量。圖13給出了ZnO/Al2O3混合相的XRD圖譜，然后基于ZnO晶體的空間群P63mc和α-Al2O3晶體的空間群R-3c作為初始結構對XRD數(shù)據(jù)進行了結構精修，通過計算得出其中剛玉Al2O3的含量為4.99%。

除了上述常見的應用外，利用精修還可以計算殘余應力，分析微觀應變，研究材料在不同狀態(tài)下相結構的轉變，計算溫度因子，獲得德拜溫度，測定晶粒尺寸，得到原子坐標和占位度因子等等。