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DETECTION OF TECHNICAL SOUSEPAD

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EBSD能做哪些分析

 二維碼
發(fā)表時間：2023-12-16 14:31作者：鑠思百檢測

EBSD能做哪些分析?鑠思百檢測小編整理了一些關(guān)于EBSD能做哪些分析的資料，希望能幫到大家。

我們先來了解一下EBSD是什么？


一、電子背散射衍射（EBSD）介紹

電子背散射衍射（Electron Back Scatter Diffraction, EBSD）是一項(xiàng)在掃描電鏡中獲得樣品晶體學(xué)信息的技術(shù)。EBSD利用背散射電子衍射，獲取晶體取向（crystal orientation）、晶界取向差（grain boundary misorientations），物相等晶體學(xué)信息。
EBSD保留了掃描電子顯微鏡的特點(diǎn)，與金相、XRD、SEM等表征手段相比，其可獲取更為豐富、精度更高的晶體學(xué)信息，從而可對樣品表面的特征進(jìn)一步分析。



二、電子背散射衍射（EBSD）設(shè)備

     背散射電子衍射裝置（EBSD）是掃描電子顯微鏡（SEM）的附件之一。EBSD采集的硬件部分通常包括一臺靈敏的CCD攝像儀和一套用來花樣平均化和扣除背底的圖象處理系統(tǒng)，下圖為EBSD系統(tǒng)的構(gòu)成及工作原理。


三、電子背散射衍射EBSD能做哪些分析?

（1）物相分析

物相鑒定：EBSD花樣可以提供晶體結(jié)構(gòu)信息，從而鑒定物相種類。
獲取相分布：利用EBSD 花樣提供的晶體結(jié)構(gòu)信息，將不同的物相賦予不同的顏色，從而顯示相的分布圖像。
計(jì)算相含量：根據(jù)相分布圖像，EBSD軟件可計(jì)算選擇區(qū)域內(nèi)的相含量。


【注】結(jié)構(gòu)相同且晶格參數(shù)相近（特別是立方晶體）的物相，EBSD衍射花樣具有相似性，因此往往還需要借助化學(xué)成分分析手段來準(zhǔn)確鑒定物相。

（2）織構(gòu)分析

     常見的多晶材料各個方向晶粒取向隨機(jī)分布，因此總體表現(xiàn)為各向同性，當(dāng)對材料進(jìn)行某些處理后（如沖壓或拉拔），會導(dǎo)致多晶體取向分布出現(xiàn)優(yōu)勢取向，從而使材料物理、力學(xué)、電學(xué)、光學(xué)等性能出現(xiàn)各向異性，這種結(jié)構(gòu)稱為織構(gòu)。


EBSD分析法中織構(gòu)的三種表示方法：

① 極圖（PF）

圖片

② 反極圖（IPF）

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③ 取向分布函數(shù)圖（ODF）

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（3）取向分析

EBSD可以對織構(gòu)進(jìn)行定性和定量分析，其中定性分析是通過提取極圖和標(biāo)準(zhǔn)極圖進(jìn)行比對，進(jìn)行定量分析是通過取向成像圖以及取向分布圖各個晶粒取向進(jìn)行織構(gòu)定量統(tǒng)計(jì)。色彩表示平行于參考方向的晶向，此處參考方向?yàn)樵嚇拥腞D方向。
圖片


（4）應(yīng)變分析


EBSD分析微區(qū)應(yīng)力應(yīng)變狀態(tài)具有較高的空間分辨率、角度分辨率和應(yīng)變敏感性。根據(jù)衍射花樣的質(zhì)量可定性評價(jià)應(yīng)變的大小。通常用菊池線質(zhì)量形成形貌圖來判斷，圖中亮的區(qū)域說明菊池線質(zhì)量高，對應(yīng)的應(yīng)變較小，而應(yīng)變越大的區(qū)域圖像越暗。

⑸   晶粒尺寸測量


EBSD 技術(shù)是利用晶體學(xué)信息的方法，在樣品表面構(gòu)建各晶粒的取向圖， 空間分辨率可達(dá)數(shù)十納米，能夠自動標(biāo)定晶界，統(tǒng)計(jì)晶粒度大小，數(shù)據(jù)客觀真實(shí)。并且檢測結(jié)果可視化。


⑹   晶界、亞晶及孿晶性質(zhì)的分析

    得到EBSD整個掃描區(qū)域相鄰兩點(diǎn)之間的取向差信息后，可進(jìn)行研究的界面有晶界、亞晶、相界、孿晶界、特殊界面（重合位置點(diǎn)陣CSL等）。


-END-

以上就是鑠思百檢測平臺對"EBSD能做哪些分析？"的相關(guān)介紹，如有測試需求，可以和鑠思百檢測聯(lián)系，我們會給與您最準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)和最好的服務(wù)體驗(yàn)，希望可以在大家的科研路上有所幫助。

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