掃描電鏡se2和inlens區(qū)別

掃描電鏡SE2和inlens區(qū)別是什么？

SE2和Inlens均用于形貌觀察，但I(xiàn)nlens信號更貼近表面，更適宜高倍近距離觀察微觀形貌。

掃描電鏡SE2是樣品室內(nèi)的探頭，主要接受第二代二次電子，掃描電鏡inlens是鏡筒內(nèi)部的二次電子探頭，主要接受第一代二次電子。

掃描電鏡SE2探測器常側(cè)裝于樣品室上 接收二次電子外，還接收透射電子和部分背散射電子。其圖像立體感強(qiáng) 主要在工作距離較大的情況下（ WD >5mm)使用，當(dāng)工作距離過小時(shí)（ WD <5mm)，會(huì)產(chǎn)生嚴(yán)重的陰影效應(yīng)，導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降。

SE2：不易荷電，多用于常規(guī)觀察， 圖像立體感好

物鏡內(nèi)安裝的環(huán)形二次電子探測器（ Inlens 探測器），位于電子束光路中在小工作距離（WDx5mm）或低加速電壓下操作，SE1被物鏡下部安裝的靜電透鏡加速，從物鏡極靴內(nèi)孔直上，會(huì)聚到探測器表面，SE2和其他電子被排斥。其僅接收來自電子束入射區(qū)的二次電子，因此分辨率高，圖像質(zhì)量好，但立體感較差。

InLens SE： 高分辨的表面細(xì)節(jié)觀察

掃描電鏡SE2和inlens區(qū)別是什么？