白光干涉測試過程

白光干涉測試過程主要包括以下幾個(gè)步驟：?

1. 
   

   準(zhǔn)備階段：?

   • 將被測物放置在載物臺的夾具上，?確保被測物的中心大致與載物臺中心重合。?

   • 檢查電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)，?確保滿足測量條件。?

   
   

2. 
   

   干涉條紋的尋找與調(diào)整：?

   • 使用操縱桿調(diào)節(jié)鏡頭高度，?找到干涉條紋1。?

   • 根據(jù)被測物的形狀和尺寸，?選擇合適的測量區(qū)域形狀，?如方形或橢圓形。?

   
   

3. 
   

   測量設(shè)置：?

   • 設(shè)置掃描方式和掃描范圍。

   • 確認(rèn)自動(dòng)找條紋上下限無誤。?

   
   

4. 
   

   開始測量：?

   • 點(diǎn)擊“開始”圖標(biāo)，?儀器自動(dòng)完成對焦、?找條紋、?掃描等操作。?

   
   

5. 
   

   數(shù)據(jù)處理與分析：?

   • 對于臺階樣品，?需要進(jìn)行校平操作，?手動(dòng)選取基準(zhǔn)區(qū)域。?

   • 對于粗糙度分析，?進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，?點(diǎn)擊“去除外形”，?采用默認(rèn)參數(shù)，?點(diǎn)擊應(yīng)用獲取樣品表面粗糙度輪廓。?

   
   

6. 
   

   結(jié)果展示：?

   • 在顯示系統(tǒng)查看測量結(jié)果，?包括膜層厚度、?表面粗糙度等。?

   
   

通過上述步驟，?白光干涉儀能夠精確測量物體的表面形貌、?膜層厚度以及表面粗糙度等參數(shù)，?廣泛應(yīng)用于精密測量領(lǐng)域