FIB制樣的優(yōu)勢是什么？

FIB制樣的優(yōu)勢是什么？

FIB制樣原理：利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的離子束轟擊材料表面，實(shí)現(xiàn)材料的剝離、沉積、注入、切割和改性。

FIB制樣優(yōu)勢：三者中制樣精度最高，界面清晰，可觀察到材料晶格形貌、內(nèi)缺陷?？蓽y復(fù)雜及納米級(jí)結(jié)構(gòu)。

FIB制樣缺點(diǎn)：制樣面積小，約10微米,對(duì)樣品尺寸有要求。

FIB制樣適合領(lǐng)域：觀察金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、高分子材料、有機(jī)聚合物等表面及內(nèi)部缺陷。