掃描電鏡操作步驟

掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。

掃描電鏡操作過程

　　1、接通電源，打開掃描電鏡主機上的開關(開關有三個檔，diyi檔為關閉，第二檔開啟，第三檔為啟動)啟動的時候把鑰匙放在第三檔大約兩秒鐘松手，掃描電鏡啟動，鑰匙自動回到第二檔(回到第二檔的原因是防止突然斷電，又突然來電)。

　　2、打開電腦。

　　3、打開電腦桌面上的掃描電鏡操作軟件(打開軟件掃描電鏡真空泵會自動工作，開始抽電子槍與樣品室內的空氣。此時軟件上的“HT”為灰色，真空抽完之后，“HT”會變成藍色)。

　　4、點操作界面的Sample，選擇“Vent”(此時掃描電鏡主機上的“放氣”指示燈開始閃爍，停止閃爍為工作完成)，調正“Staqe”中的“Z”軸為40mm以上軸Zda位置為80mm)，打開樣品室，取出樣品臺(注意：在取樣品臺時手不得接觸二次電子探頭和背散射探頭)，固定樣品(樣品要確保良好的導電性)，完成后再抽真空，點擊Sample中的“Evac”，真空泵開始工作，當“HT”變?yōu)樗{色，抽真空完成。

　　5、確定工作電壓與工作距離(工作電壓“Acc.volt”一般為30KV，工作距離“WD”一般為10mm，束斑Spotsize一般為30，工作模式Signal：二次電子SEI背散射BEW，真空模式Vac.mode：HVLV)在確定工作電壓和工作距離時，不用看原來的數(shù)值是多少都要重新指定。

　　6、點擊“HT”打開高壓，“HT”變?yōu)榫G色。

　　7、打開“Staqe”通過調正“X、Y、T、R”四個軸向找到樣品的位置，再調正“Z”軸確定樣品臺的位置(注意：在確定工作位置的時候要確定樣品的高度。如：樣品為2mm，那么軸的數(shù)值應調正為15mm)，放大樣品到模糊看不清的倍數(shù)，通過對“Z”軸的上、下位置調正樣品為Z清淅的位置，再放大樣品到模糊看不清的倍數(shù)，再用同樣的方法調正到Z清淅的位置。

　　8、點擊“Vlew”使掃描電鏡放大倍數(shù)回到30X。

　　9、先放大到一個合適選擇Z佳拍照位置的倍數(shù)，選擇一個Z佳的拍照位置(樣品表面盡量平整)。

　　10、旋轉操作臺上的放大旋鈕到樣品合適的放大倍數(shù)(此數(shù)值的確定跟據(jù)樣品的不同而不同)，氧化鋅的適合放大倍數(shù)為15000X，軟件上操作窗口的Soan2為被選擇狀態(tài)。

　　11、左右旋轉操作臺上的聚焦旋鈕，使圖像到Z清楚的聚焦狀態(tài)。

　　12、點擊掃描電鏡軟件上操作窗口的Soan1，此時在觀查窗口中會出現(xiàn)一個新窗口，此窗口中的圖像同樣是放大15000倍的圖數(shù)(消像散調正的原側是高倍調正，低倍拍照)在新的窗口中把圖像放大到30000X(消像散放大的倍數(shù)Z少是拍照倍數(shù)的2倍)。

　　13、按操作臺上的消像散與對比度和亮度的切換按鈕，切換到消像散的位置。

　　14、通過旋轉旋鈕調正X、Y軸上的像散(先調一個向方再調另一個方向)，使圖像調正為都是Z清楚的位置。如像散無法調正到Z清楚的位置，是因為像散已經(jīng)調亂了，此時可以點軟件上操作窗口的“Rest”按鈕恢復到開始的位置重新校正。校正完畢后把新窗口中的圖像回到拍照放大倍數(shù)。再進行聚焦調正(此時是微調)。

　　15、按掃描電鏡操作臺上的消像散與對比度和亮度的切換按鈕，切換到對比度與亮度調正位置。

　　16、點擊軟件上操作窗口的Soan3，大約10秒鐘觀查窗口出現(xiàn)掃描圖像，在此圖像中調正對比度與亮度。如果需要觀察某一個亮度下的圖像，可以就擊操作窗口上的：Sanp1、或Sanp2。(對比度與亮度的Z佳狀態(tài)為突起的位置不刺眼，凹的位置不能太暗看不清)。

　　17、點擊掃描電鏡軟件上操作窗口的Soan4。80秒后圖像處理完畢。

　　18、點擊圖像上向的“Save”保存圖像。(在保存圖像的時候可以選擇圖像顯示信息和不顯示)。

更換燈絲及槍對中操作

一、更換燈絲：

　　1、點掃描電鏡操作界面的Sample，選擇“Vent”(此時掃描電鏡主機上的“放氣”指示燈開始閃爍，停止閃爍為工作完成)。

　　2、取下燈座外面的帽子，打開燈座。

　　3、用專用工具套上山級帽，用螺絲刀螺緊專用工具外面的螺絲(用力不要太大)。

　　4、用力向外拔出山級帽(注意：在放置山級帽的時候要輕拿輕放)。

　　5、用螺絲刀螺松山級帽上的螺釘。

　　6、取出舊燈絲。

　　7、用棉簽帶金屬拋光膏擦拭山級帽內部。

　　8、更換新燈絲(注意：更換時要注意燈絲的正負級，在山級帽的內側有一個突起，燈絲座有一個凹，在裝入燈絲的時候一定要小心，不能使燈絲與其它物質發(fā)生碰撞)。

　　9、固定山級帽上的螺釘。

　　10、將山級帽安裝到燈座上。

　　11、蓋上燈座帽。

　　12、點擊Sample中的“Evac”，真空泵開始工作，當“HT”變?yōu)樗{色，抽真空完成。

二、槍對中

　　1、點擊掃描電鏡操作窗口上的“Gun”，打開槍對中操作界面。

　　2、點擊槍對中操作界面上的“AUTO”(全自動調整)。

　　3、調整完畢后，再調整燈絲的加電壓。注意：在調整燈絲加電壓的時候不要把調整到黃色心內，調整到到黃色的交點處即可)。

　　4、打開高壓。

　　5、調整X、Y軸使圖像調整Z清楚的位置。

　　6、將束斑以10遞增，到70再回到30。

　　7、槍對中調整完畢。

鑠思百檢測動態(tài)

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測試流程

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2、細節(jié)溝通（聯(lián)系電話或在線QQ）

3、下載填寫測試委托單（網(wǎng)站下載或聯(lián)系QQ客服）

4、測試委托單和樣品郵寄

5、聯(lián)系客服付款

6、安心等待

7、接受數(shù)據(jù)發(fā)票

8、后期服務

以上是對于測試的相關介紹，如有其它檢測需求可以咨詢實驗室工程師，為您一對一服務。

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