掃描電子顯微鏡原理 二維碼
發(fā)表時間:2019-11-07 13:55作者:武漢鑠思百檢測技術(shù)有限公司來源:鑠思百檢測 1.掃描電子顯微鏡原理--簡介 掃描電子顯微鏡,英文名是SEM,是掃描電子顯微鏡的縮寫掃描電子顯微鏡(SEM)主要是通過二次電子信號成像來觀察樣品的表面形貌,即用非常窄的電子束掃描樣品,通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應,主要是樣品的二次電子發(fā)射
2.掃描電子顯微鏡原理--結(jié)構(gòu) 掃描電子顯微鏡由真空系統(tǒng)、電子束系統(tǒng)和成像系統(tǒng)三部分組成 真空系統(tǒng)主要包括真空泵和true空柱True空柱是密封的圓柱形容器真空泵用于產(chǎn)生真真空空柱 電子束系統(tǒng)-電子束系統(tǒng)由電子槍和電磁透鏡組成它主要用于產(chǎn)生能量分布窄、具有一定電子能量的電子束進行掃描成像電子槍用于產(chǎn)生電子,主要包括場發(fā)射效應和熱發(fā)射效應 成像系統(tǒng):電子通過一系列電磁透鏡形成光束后,撞擊樣品并與樣品相互作用,產(chǎn)生二次電子、背散射電子、歐革電子、X射線等一系列信號所以我們需要不同的探測器,如二次電子探測器,X射線能譜分析儀,來區(qū)分這些信號,以獲得所需的信息
3.掃描電子顯微鏡原理 掃描電鏡的工作原理主要是基于二次電子成像掃描電鏡的工作原理是:電子槍燈絲發(fā)射的直徑約為20-35μm的電子束經(jīng)陽極1-40kv高壓加速到鏡筒,經(jīng)第一、第二凝聚透鏡和物鏡會聚它被還原成直徑約為幾十埃的窄電子束,并發(fā)射到樣品中 同時,偏轉(zhuǎn)線圈使電子束在樣品上形成掃描光柵電子束與樣品之間的相互作用會產(chǎn)生各種各樣的信號,其中最重要的是二次電子控制鏡頭筒入射電子束掃描線圈的電路還控制顯像管電子束在屏幕上的掃描這樣,就像電視屏幕上的圖像一樣,一個接一個地形成圖像 圖像是三維圖像,反映了標本的表面結(jié)構(gòu)為了使標本表面在固定和脫水后產(chǎn)生二次電子,標本需要噴涂一層重金屬粒子,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出二次電子信號
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