微/納米壓痕-劃痕分析檢測(cè)服務(wù)

納米壓痕儀器設(shè)備

安東帕納米壓痕儀和微納米壓痕劃痕儀(雙測(cè)頭)簡(jiǎn)介（UNHT&MCT）

技術(shù)指標(biāo)

UNHT：最大加載力100mN, 力值分辨率為3nN;最大位移50um,位移分辨率為0.01nm

MCT: 最大加載力為10N,力值分辨率為0.3mN,,最大位移為200um,位移分辨率為0.3nm.

服務(wù)內(nèi)容及報(bào)價(jià)

（1） 基礎(chǔ)服務(wù)：

測(cè)量塊體材料、薄膜材料、凝膠材料等的硬度、彈性模量、儲(chǔ)能和損耗模量、斷裂、結(jié)合強(qiáng)度、蠕變、應(yīng)力-應(yīng)變、赫茲應(yīng)力分析

（2）參考報(bào)價(jià)：具體咨詢(xún)鑠思百客服

樣品制備

尺寸在2cm左右的圓柱、塊體均可，也可以是正常的金相樣品，但是需要表面有一定的平整度，需要說(shuō)明材料種類(lèi)，根據(jù)材料選擇合適的壓頭

案例展示

1. C-SiC結(jié)合力的測(cè)試：

測(cè)試樣品SiC膜厚3.5um，屬硬質(zhì)膜層。隨著垂直加載力值的增大劃痕表面裂紋出現(xiàn)并慢慢擴(kuò)展到兩邊直至膜層剝落。出現(xiàn)的環(huán)形赫茲裂紋也是典型的硬膜硬基劃痕表現(xiàn)。

2.DLC膜在304不銹鋼基體的結(jié)合力：

DLC膜厚500nm,屬于軟基體上鍍硬質(zhì)膜層系列。隨著垂直加載力值增大，拉伸裂紋出現(xiàn)，因基體較軟且結(jié)合力較好膜層不會(huì)出現(xiàn)大面積的剝落，只是出現(xiàn)小范圍的周邊剝落。

3.Au膜層在聚合物基體上的結(jié)合力：

Au膜厚350nm，隨加載力增加裂紋出現(xiàn)很少膜層直接剝落。且在很小力值下膜層剝落，結(jié)合強(qiáng)度不高。

4.納米壓痕

1號(hào)針尖，1 um×1 um

(a)

2號(hào)針尖，1 um×1 um

3號(hào)針尖，5um×5 um

(c)

3號(hào)針尖，1 um×1 um

(d)

使用校準(zhǔn)后的三個(gè)針尖分別在不同壓入深度下對(duì)熔融石英

說(shuō)明：通過(guò)使用可溯源AFM對(duì)針尖曲率半徑分別為114 nm±11nm的1號(hào)針尖，208 nm±17 nm的2號(hào)針尖和646 nm±51 nm的3號(hào)針尖的針尖面積函數(shù)校準(zhǔn)后對(duì)熔融石英樣品進(jìn)行壓入測(cè)量，1號(hào)針尖在10nm左右測(cè)量的硬度值接近其真實(shí)硬度值。校準(zhǔn)后的1號(hào)針尖可用于厚度大于100nm的薄膜壓入硬度和折合模量測(cè)量

使用校準(zhǔn)后的三個(gè)針尖分別在不同壓入深度下對(duì)熔融石英

NPL單晶鎢標(biāo)準(zhǔn)值和NIM測(cè)量值及其不確定度分布（k=2）

說(shuō)明：使用校準(zhǔn)溯源納米壓入儀對(duì)英國(guó)國(guó)家物理實(shí)驗(yàn)室（NPL）的熔融石英標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和單晶鎢的壓入折合模量進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量結(jié)果與其標(biāo)定值十分接近。