掃描電子顯微鏡的一些用途

掃描電子顯微鏡的一些用途

    掃描電子顯微鏡(SEM) 是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質(zhì)間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。

掃描電鏡對(duì)各種固體樣品表面進(jìn)行高分辨的形貌分析是掃描電子顯微鏡的最基本的功能，掃描電子顯微鏡觀察的特點(diǎn)就是大景深圖像。對(duì)于樣品的表面，或者是樣品切開的面，或者是一個(gè)斷面，這些都可以被清楚的觀察到?？梢灾苯涌吹皆蓟蛘吣p的表面，也可以觀察氧化物的表面，晶體的生長(zhǎng)或者腐蝕的缺陷。另一方面也可以研究小的易碎樣品的結(jié)構(gòu)。另一方面，它也可以拍出和樣品的表面相對(duì)相應(yīng)的立體感強(qiáng)的照片。

在電子掃描顯微鏡的應(yīng)用中，有一部分集中在器件上，它可以很詳細(xì)的觀察器件工作后的局部表面的變化，物品磨損或表面腐蝕甚至焊接開裂這些細(xì)節(jié)或者相互關(guān)系都可以很容易的觀察到。

樣品盒電子束的作用區(qū)內(nèi)，還可以發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性質(zhì)有關(guān)的信號(hào)，例如：與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測(cè)；與材料電學(xué)性能相關(guān)的，如二次電子信號(hào)、電子束感生電流信號(hào)；在觀察薄樣品是產(chǎn)生的透射電子信號(hào)燈。鑠思百檢測(cè)分別有探測(cè)器和裝置用于探測(cè)和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。

掃描電子顯微鏡對(duì)于固體材料的研究應(yīng)用是非常廣泛的，對(duì)于固體材料的全面特征額描述，掃描電子顯微鏡是至關(guān)重要的。