什么是電子背散射衍射

什么是電子背散射衍射

自20世紀(jì)90年代以來(lái)，掃描電子顯微鏡上裝配的背散射、晶體微區(qū)取向和晶體材料結(jié)構(gòu)的分析技術(shù)取得了較大的發(fā)展，并且已經(jīng)在材料微觀組織結(jié)構(gòu)及微織構(gòu)表征中廣泛應(yīng)用。這個(gè)技術(shù)被稱為電子背散射衍射。其主要特點(diǎn)在保留掃描電子顯微鏡的常規(guī)特點(diǎn)的同時(shí)，進(jìn)行空間分辨率亞微米級(jí)的衍射。電子背散射衍射改變了以往組構(gòu)分析的方法。

現(xiàn)如今，掃描電子顯微鏡中的電子背散射衍射技術(shù)已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)全自動(dòng)采集微區(qū)取向信息，樣品制備也相對(duì)簡(jiǎn)單，采集數(shù)據(jù)的速度也更快，分辨率更高，為快速定量統(tǒng)計(jì)研究材料的微觀組織結(jié)構(gòu)奠定了基礎(chǔ)，已經(jīng)成為材料研究中一種有效的分析手段。電子背散射衍射技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域集中于多種晶體材料，用來(lái)研究各種現(xiàn)象，如熱機(jī)械處理過(guò)程、塑性變形過(guò)程、與取向有關(guān)的性能、界面性能、相鑒性等。

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關(guān)鍵詞：電子背散射衍射、掃描電子顯微鏡、晶體結(jié)構(gòu)