SEM-EDS技術(shù)在表面成分分析中的應(yīng)用

SEM-EDS技術(shù)在表面成分分析中的應(yīng)用

表面分析是一種統(tǒng)稱，指的是利用電子、光子、離子等于材料表面進行相互作用，在范圍微米到納米級以內(nèi)測量從表面散射或發(fā)射出來的各種電子、光子、離子的質(zhì)譜、能譜、光譜等，對材料表面的化學組成、結(jié)構(gòu)和性質(zhì)進行分析的一些技術(shù)。

掃描電子顯微鏡主要是利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態(tài)，就是用非常狹窄的電子束來掃描樣品，通過樣品與電子束之間產(chǎn)生相互效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠獲得樣品表面放大的形貌圖，獲得的形貌圖是樣品被掃描時按照時序建立起來的，即使用逐點成像的方法獲得放大像。掃描電子顯微鏡可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質(zhì)的信息，如形貌、組成和晶體結(jié)構(gòu)等等。

X射線能譜儀（EDS）的工作原理主要是利用不同元素所激發(fā)的特征X射線能量的不同來對元素進行定性和定量分析。X射線能譜儀進行掃描的步驟可以表述為：X射線激發(fā)出樣品表面的特征被送到半導體檢測器中，經(jīng)過處理后輸出幅度與X射線能量成正比的電脈沖信號；該信號經(jīng)過放大器的調(diào)整后輸出對應(yīng)的電壓信號；該信號被送入到脈沖處理器，進行降噪后將信號轉(zhuǎn)換為計數(shù)并在對應(yīng)通道內(nèi)累加計數(shù)，最后將信號輸出并通過專業(yè)軟件進行處理，在顯示器上形成能譜圖，然后根據(jù)能譜圖進行處理，從而達到定性分析的目的。

掃描電子顯微鏡結(jié)合X射線能譜儀的使用方法也能對材料的成分進行分析，這種分析方法簡稱為SEM-EDS分析技術(shù)，鑠思百檢測可以提供相關(guān)檢測。