掃描電鏡加速電壓的作用及選擇

掃描電鏡的技術(shù)領(lǐng)域中加速電壓是一個重要技術(shù)。加速電壓使電子束加速而獲得能量，其范圍為0.2~30KV，一般高壓指用20KV，低壓指小于10KV。其值越大，電子束能量越大，反之亦然。

在進(jìn)行掃描電子顯微鏡分析時，為了獲得感興趣區(qū)域的優(yōu)質(zhì)圖像效果，有一些重要參數(shù)是需要考慮的。其中一個很重要的參數(shù)就是加速電壓，它是加在電子槍的陰極和陽極之間，用來加速電子產(chǎn)生電子束的。加速電壓的選擇與樣品的導(dǎo)電性、放大倍數(shù)及圖片質(zhì)量等因素有關(guān)。一般來說，加速電壓越高，圖像的分辨率越高。

對于掃描電子顯微鏡中加速電壓的選擇，取決于樣品的導(dǎo)電性、樣品的質(zhì)量要求和倍率等情況。當(dāng)樣品的導(dǎo)電性較好時，就選用高加速電壓。在這時，電子束的能量越大，激發(fā)的二次電子、背散射電子的數(shù)量就越多，更有利于改善圖像的分辨率、信噪比和反差，對于高倍的觀察更加有利。

選擇掃描電鏡加速電壓時必須要考慮空間分辨率，在保證合理的激發(fā)特征譜線時，掃描電鏡的加速電壓應(yīng)該選用比較小的值?？臻g分辨率與過壓比有關(guān)，過高的加速電壓會使電子束在樣品內(nèi)的穿透較深，使空間分辨率明顯變差。鑠思百檢測可提供掃描電子顯微鏡等相關(guān)測試。

關(guān)鍵詞：掃描電子顯微鏡、電子束、加速電壓