加速電壓對于區(qū)域和成像的影響

掃描電子顯微鏡受到的加速電壓的影響：

加速電壓對于背散射衍射成像和二次電子成像的影響是類似的：樣品的表面能夠在低加速電壓的情況下能夠多到更多的細節(jié)，在高加速的電壓下，圖像的分辨率提高，但是由于穿透小型，樣品表面的細節(jié)減少，反而有利于忽略樣品表面的一些細小污染物。如此在底加速電壓下，樣品表面污染物清晰可見，而高加速電壓的圖像表面污染物“減少”。

而選擇合適的加速電壓對于不同性質(zhì)的樣品是非常重要的，生物樣品、聚合物以及其他有機樣品對于高能量的電子都非常敏感。而且，由于電子掃描顯微鏡是在真空中運作，這種敏感性還會進一步增強。這就是現(xiàn)階段仍然在致力于開發(fā)低電壓下成像技術(shù)的原因，這樣的話即使是對電子束能量非常敏感的樣品也可以得到比較好的圖像。

在這個階段的過程中，主要會遇到的困難是成像技術(shù)背后的物理原理：與攝影相似，存在幾種可能的因素會影響最終輸出的圖像的質(zhì)量，比如畸變和像差。隨著電壓的升高，所獲得的信號量也變多，色差所造成的影響就逐漸減小，這也是掃描電鏡的趨勢是利用盡可能高的電壓以提高成像分辨率的主要原因。

作用區(qū)域的大受加速電壓的影響：

掃描電子顯微鏡的加速電壓時電子能量的象征，它決定了電子束與樣品之間的相互區(qū)大小，一般情況下，加速電壓越高，電子束在樣品表面穿透越深，作用區(qū)間就越大。

這意味著電子將在樣品中更深入的傳播，并在不同區(qū)域中產(chǎn)生信號。作用區(qū)間的大小也受樣品的化學成分影響，輕元素的核外電子層數(shù)比較少，電子能量較低，這限制了其對于入射電子的影響。因此，與重元素的樣品相比，電子束對于輕元素樣品的穿透更深。

關(guān)鍵詞：掃描電子顯微鏡、加速電壓、電子束