掃描電鏡SEM測試之能譜eds詳細(xì)介紹

在做掃描電子顯微鏡（SEM測試）時(shí)，鑠思百檢測老師在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對能譜EDS不太了解，針對此，鑠思百檢測小編整理相關(guān)資料，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

能譜EDS的采樣深度大約為1 μm，可對試樣微區(qū)內(nèi)Be~U范圍內(nèi)的元素進(jìn)行分析。根據(jù)掃描方式的不同可分為點(diǎn)掃、線掃和面掃。點(diǎn)掃和線掃都是對樣品的某一位置進(jìn)行微區(qū)元素分析，兩者區(qū)別是掃描能譜的面積大小不一。點(diǎn)掃可以給出掃描元素的相對含量，測試準(zhǔn)確性較高，常用于顯微結(jié)構(gòu)的成分分析。面掃是對樣品某一區(qū)域的元素分布進(jìn)行觀察。

圖1對樣品的某一位置進(jìn)行能譜點(diǎn)掃得到的元素圖

表1樣品的相對元素含量

EDS點(diǎn)掃分析是將電子束固定于樣品中某一點(diǎn)上，進(jìn)行定性或者定量的分析。如圖1所示是能譜點(diǎn)掃給出的峰型圖，每一種元素在圖中會(huì)出現(xiàn)一種峰，由此可以看出樣品中所含有的元素，同時(shí)，也會(huì)相對應(yīng)的給出如表1所示的元素相對含量表，表中數(shù)據(jù)展示了相對質(zhì)量分?jǐn)?shù)和相對原子分?jǐn)?shù)及誤差，誤差越大表示元素的相對含量可信度越低。

圖2對樣品進(jìn)行線掃的結(jié)果圖

EDS線掃描分析是電子束沿一條線對樣品進(jìn)行掃描，能得到元素含量變化的線分布曲線。結(jié)合樣品形貌像對照分析，能直觀獲得元素在不同區(qū)域的分布情況。圖2可以看出，元素含量的差異與形貌結(jié)合可以分析樣品結(jié)構(gòu)上的差異。

圖3對樣品進(jìn)行面掃的結(jié)果圖

EDS面掃描分析是電子束在樣品表面掃描，試樣表面的元素在屏幕上由亮度或彩色表現(xiàn)出來，常用來做定性分析。亮度越高，元素含量越高，結(jié)合形貌像常用于成分偏聚、相分布的研究中。從圖1-11中可以看出元素分布的差異，結(jié)合形貌圖對樣品進(jìn)行定性分析。

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