xps常見問題與解答

鑠思百檢測可為您提供X射線光電子能譜技術(shù)（XPS測試）服務(wù)

在做X射線光電子能譜XPS測試時，鑠思百檢測老師在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)僅僅是通過文獻或者師兄師姐的推薦對XPS測試有了解，但是對于其原理還屬于小白階段，針對此，鑠思百檢測整理了XPS測試常見問題，希望可以幫助到做科研的小伙伴們；

問題一：所測窄譜元素，含量比為啥跟預(yù)期不符？

1.樣品表面被污染

2.樣品分布不均勻

3.該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測微區(qū)范圍內(nèi)

4.XPS是半定量分析，和元素的實際含量會有出入

PS：XPS是一種典型的表面分析手段，用于定性及半定量分析，測試得到的僅是樣品表面幾百甚至幾 十um大小，幾個nm深度的樣品信息，不代表樣品整體性質(zhì)

問題二：樣品中，某元素窄譜曲線不光滑，峰刺較多，或沒有測出該元素？

1.元素含量比較低

2.樣品分布不均勻，所測試的光斑范圍內(nèi)，該元素含量較少

3.該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測微區(qū)范圍內(nèi)

問題三：分峰后，某元素結(jié)合能位置不對？

1.確認下數(shù)據(jù)是否校正（我們給的數(shù)據(jù)，一般是沒有校正的數(shù)據(jù)）

2.分析下化學(xué)環(huán)境對該元素峰本身造成的影響，某些化學(xué)環(huán)境會導(dǎo)致峰有正常的偏移

3.確認下分峰是否正確

問題四：元素的結(jié)合能測試范圍和之前的不同，無法對比？

如果該元素的峰是完整的，可以自行截取至相同結(jié)合能范圍進行對比，如果不影響分析也可以不進行截取

問題五：分峰后，對應(yīng)價態(tài)的峰沒有？

1，需要分峰后進行分析，并需確認分峰是否正確

2，全譜的能量很高，如果測不出來，可能是污染碳很高，或者測試深度范圍內(nèi)的含量太少（整體該價 態(tài)比較高，但是表面很少），一般是后者原因居多

問題六：所測2個元素的窄譜峰有重合，無法分峰？

可嘗試測其中某一元素其它軌道峰，來避免與另一元素窄譜峰重合

問題七：數(shù)據(jù)中C、N、O元素含量比實際樣品的高，或沒有C、N、O但是測出來了？

1.樣品吸附了空氣中的污染物導(dǎo)致，在數(shù)據(jù)處理時，把非樣品所含有的污染物的峰先分出來，剔除掉 ，再重新計算含量；

2.如果對這個要求較嚴，建議后期樣品制備后抽真空密封保存，測試時選擇手套箱制樣并測試；如果 是非粉體樣品，可選擇刻蝕后測試

問題八：樣品不含有這個元素，為什么全譜測出這個元素了（除CNO）？

1.樣品理論上應(yīng)該不含有，但是樣品在處理過程中是有引入該元素的成分，在后續(xù)的處理過程沒有完 全處理干凈

2.待測試樣品是在某種基底上測試的，但待測試樣品量較少，測試到了基底

3.被同一批次的其他樣品，或者有易揮發(fā)組分（如S、F），或者進行刻蝕后，污染了該樣品表面

問題九：某元素含量很高大概 5%，測出來信噪比很差，而有的元素含量很低0.5%，測出來信噪比反而很好？

1.不同元素的主峰的靈敏度因子和檢測限不一樣；

2.樣品分布不均勻

3.該元素不分布在樣品表面，即不在XPS所測微區(qū)范圍內(nèi)

鑠思百檢測可提供X射線光電子能譜-XPS測試，檢測服務(wù)，詳情可聯(lián)系測試工作人員。

關(guān)鍵詞：X射線光電子能譜，XPS測試，檢測服務(wù)，XPS常見問題