場發(fā)射掃描電子顯微鏡

場發(fā)射掃描電子顯微鏡

掃描電鏡的簡介：

場發(fā)射掃描電子顯微鏡（FESEM）是電子顯微鏡的一種。該儀器具有超高分辨率，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子像觀察及圖像處理。該儀器利用二次電子成像原理，在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)上，低電壓下通過在納米尺度上觀察生物樣品如組織、細(xì)胞、微生物以及生物大分子等，獲得忠實原貌的立體感極強的樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息。 具有高性能x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區(qū)點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學(xué)組分綜合分析能力。

掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無機非金屬材料及器件等的檢測?？梢杂^察和檢測非均相有機材料、無機材料及在上述微米、納米級樣品的表面特征。場發(fā)射掃描電子顯微鏡的最大特點是具備超高分辨掃描圖像觀察能力，尤其是采用最新數(shù)字化圖像處理技術(shù)，提供高倍數(shù)、高分辨掃描圖像，并能即時打印或存盤輸出，是納米材料粒徑測試和形貌觀察最有效儀器。也是研究材料結(jié)構(gòu)與性能關(guān)系所不可缺少的重要工具。

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