隨著掃描電鏡技術(shù)的發(fā)展和普及，掃描電鏡已經(jīng)從高層次的研究發(fā)展成為應(yīng)用廣泛的測(cè)試手段。掃描電鏡用于觀察物質(zhì)的表面形貌，研究物質(zhì)微現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)和微區(qū)成分。掃描電鏡技術(shù)廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、材料科學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)、電子學(xué)、地質(zhì)礦物學(xué)食品科學(xué)等領(lǐng)域的科學(xué)研究，而且還廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、陶瓷工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)等生產(chǎn)部門(mén)。下面列舉掃描電鏡在各個(gè)領(lǐng)域中的應(yīng)用。

一、 在生命科學(xué)中的應(yīng)用

掃描電鏡技術(shù)在植物學(xué)、動(dòng)物學(xué)、醫(yī)學(xué)、古生物學(xué)、考古學(xué)等生命學(xué)科中得到廣泛的應(yīng)用研究，并取得顯著成果。

1）植物學(xué)

科學(xué)界用掃描電鏡對(duì)植物的根、莖、葉等器官進(jìn)行解剖學(xué)研究，并且能夠?qū)?xì)胞核、葉綠體等微小的細(xì)胞結(jié)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀察，從超微形態(tài)學(xué)角度闡明了葉片衰老時(shí)細(xì)胞核、葉綠體的動(dòng)態(tài)變化特征，研究葉片衰老機(jī)理和規(guī)律，可用于延緩小麥等植物葉片衰老。

2）動(dòng)物學(xué)

應(yīng)用掃描電鏡技術(shù)研究動(dòng)物的超微形態(tài)結(jié)構(gòu)，對(duì)其分類學(xué)、生理學(xué)，病理學(xué)等基礎(chǔ)學(xué)科以及資源利用、動(dòng)植物蟲(chóng)害防治等具有重要意義。比如，應(yīng)用掃描電鏡研究各種動(dòng)物毛纖維的形態(tài)，如鱗片的形狀，高度，厚度、排列規(guī)律邊緣形態(tài)，表面光滑程度、張角大小，覆蓋密度等指標(biāo)，可以用于進(jìn)出口織品質(zhì)量的鑒定、紡織晶加工工藝的改進(jìn)、原料的合理利用、動(dòng)物種屬的鑒別、刑事破等方面。

3）醫(yī)學(xué)

掃描電鏡技術(shù)在醫(yī)學(xué)形態(tài)學(xué)的研究中已成為不可缺少的科研工具與手段。在醫(yī)學(xué)中，掃描電鏡技術(shù)應(yīng)用于疾病模型、培養(yǎng)細(xì)胞或組織鑒定、傷情診斷，藥理作用與效果的觀察、疑難病癥的電鏡診斷等。比如，應(yīng)用掃描電鏡對(duì)人腦原發(fā)性膠質(zhì)瘤的瘤細(xì)胞和問(wèn)質(zhì)的超微形態(tài)特征進(jìn)行研究直觀地觀察到瘤組織內(nèi)各種成分之間的相互關(guān)系，以供鑒別診斷。

4）古生物學(xué)

古生物學(xué)是研究過(guò)去的生物及其發(fā)展的科學(xué)。掃描電鏡技術(shù)不僅能夠研究微體古生物整體形態(tài)，而且可以深入現(xiàn)察殼體內(nèi)細(xì)小突起的數(shù)量關(guān)系及分布轉(zhuǎn)點(diǎn)，為古生物群體的鑒定以及形態(tài)分類提供真實(shí)的依據(jù)。比如，應(yīng)用掃描電鏡對(duì)隕石進(jìn)行研究，為進(jìn)一步了解宇宙、地球以及生命起源提供了寶貴的資料。

5）考古學(xué)

應(yīng)用掃描電鏡對(duì)古尸結(jié)構(gòu)進(jìn)行研究，不僅為了解古代的醫(yī)藥學(xué)提供了寶貴的資料，而且可以對(duì)人類的發(fā)展獲得新的認(rèn)識(shí)。比如，考古工作者應(yīng)用掃描電鏡對(duì)各種木乃伊和古尸進(jìn)行了詳盡的研究和分析，發(fā)現(xiàn)大多數(shù)木乃伊和古尸的結(jié)組織纖維成分保存良好，而膠原纖維往往保存得最好。

二、 在材料學(xué)的應(yīng)用

掃描電鏡技術(shù)在材料學(xué)的應(yīng)用十分廣泛，比如以下幾個(gè)方面：

1）用于高分子多相體系的形態(tài)結(jié)構(gòu)，界面狀況損傷性能預(yù)測(cè)等方面的研究；

2）用于研究高分子復(fù)合材料微觀形態(tài)；

3）用于分析磨料與金屬表面的相互作用過(guò)程；

4）用掃描電鏡及其動(dòng)態(tài)拉伸臺(tái)對(duì)高碳鋼中碳鋼進(jìn)行動(dòng)態(tài)拉伸試驗(yàn)，觀察高碳鋼、中碳鋼裂紋的萌生、擴(kuò)展及斷裂過(guò)程。

三、 在物理學(xué)的應(yīng)用

在物理學(xué)中，掃描電鏡可用于觀測(cè)導(dǎo)電粉的粒徑分布、導(dǎo)電粉在導(dǎo)電點(diǎn)中的濃度和分析導(dǎo)電點(diǎn)缺陷，以提高液晶顯示器的產(chǎn)品質(zhì)量，用于也可觀測(cè)襯墊料的粒徑分布、控制液晶顯示器的盒厚均勻程度、消除液晶顯示器的底色差異，所得圖像可為從事液晶顯示器研制的工程技術(shù)人員提供清的材料圖像，為排除襯墊料的不均勻因素所造成的液晶屏的質(zhì)量問(wèn)題提供依據(jù)。

四、 在化學(xué)中的應(yīng)用

掃描電鏡技術(shù)在材料學(xué)的應(yīng)用十分廣泛，比如，可用掃描電鏡觀察研究薄膜傳感器壓阻的靈敏度，用于觀測(cè)碳化硅顆粒增強(qiáng)的鋁基復(fù)合材料的界面反應(yīng)產(chǎn)物的形貌。

五、 在工業(yè)中的應(yīng)用

1）在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用

由于半導(dǎo)體器件體積小、重量輕、壽命長(zhǎng)、功率損耗小、機(jī)械性能好，因而適用的范圍廣。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。一般半導(dǎo)體器件試制和生產(chǎn)過(guò)程中包括了切割、研磨，拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列序，正是在這些過(guò)程中，會(huì)造成表而的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化，所以幾乎每一個(gè)步驟都需對(duì)擴(kuò)散區(qū)的深度進(jìn)行測(cè)量或者直接看到擴(kuò)散區(qū)的實(shí)際分布情況，而生產(chǎn)大型集成電路更是如此。因此，掃描電鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，比如，用于質(zhì)量監(jiān)控與公益診斷、器件分析、失效分析和可靠性研究、電子材料研制分析等。

2）在化學(xué)工業(yè)中的應(yīng)用

應(yīng)用掃描電鏡對(duì)化工產(chǎn)品的微觀形態(tài)進(jìn)行觀察，可以根據(jù)其性質(zhì)對(duì)工藝條件進(jìn)行選擇，控制改進(jìn)和優(yōu)化，并可進(jìn)行產(chǎn)品鑒定等。比如，應(yīng)用掃描電鏡觀察不同催化劑、不同工藝條件下以納米聚團(tuán)床催化裂解法制得的碳納米管樣品的微觀形態(tài)，以及借助掃描電鏡對(duì)工業(yè)氧化鎂經(jīng)表面活性劑水化、煅燒處理的產(chǎn)物的微觀聚集狀態(tài)進(jìn)行觀察，可見(jiàn)產(chǎn)物的結(jié)晶完整、分散性能良好。

3）在石油工業(yè)中的應(yīng)用

環(huán)境掃描電鏡技術(shù)可以用于基質(zhì)酸研究、酸敏研究、水敏研究、巖石濕潤(rùn)性研究、地質(zhì)礦物學(xué)研究、粉末冶金學(xué)研究等。

六、 在食品科學(xué)中的應(yīng)用

掃描電鏡技術(shù)在食品科學(xué)的應(yīng)用十分廣泛，比如，利用掃描電鏡技術(shù)對(duì)超高壓下生成的不同凝固劑的新型豆腐凝膠的形態(tài)結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察，分析超高壓生成新型豆腐凝膠的特點(diǎn)，獲得高品質(zhì)超高壓生成豆腐凝膠的有效信息，選擇合適的凝固劑和確定適宜的超高壓處理工藝。

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