掃描電鏡的原理-二次電子

掃描電子顯微鏡就是鑠思百檢測(cè)以能量為1-30KV間的電子束，以光柵狀掃描方式照射到被分析試樣的表面上，利用入射電子和試樣表面物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的二次電子和背散射電子成像，獲得試樣表面微觀組織結(jié)構(gòu)和形貌信息。配置波譜儀和能譜儀后，鑠思百檢測(cè)再利用所產(chǎn)生的X射線，就可以對(duì)試樣進(jìn)行定性和定量化學(xué)成分分析。

入射電子的散射過(guò)程是一種隨機(jī)過(guò)程，每次散射后都使其前進(jìn)方向改變，在非彈性散射過(guò)程是一種隨機(jī)過(guò)程，每次散射后都使其前進(jìn)方向改變，在非彈性散射情況下，還會(huì)損失一部分能量，并伴有各種信息的產(chǎn)生如熱、X射線、光、二次電子發(fā)射等。

由圖可知，入射電子經(jīng)過(guò)多次彈性和非彈性散射后，可能出現(xiàn)如下情況:

(1)部分入射電子所累積的總散射角大于90°，重新返回表面逸出，這些電子成為背反射電子；

(2)若試樣的厚度小于入射電子的最大貫穿深度，則它可以穿透試樣而從另一面逸出，這部分電子稱為透射電子；

(3)部分入射電子經(jīng)過(guò)多次非彈性散射后，其能量損失殆盡，不再產(chǎn)生其它效應(yīng)，被試樣吸收，這部分電子稱為吸收電子；

(4)入射電子在試樣表面層（10nm左右）引起次電子發(fā)射從而產(chǎn)生二次電子；

(5)電子躍遷復(fù)位過(guò)程所放出的能量再次使原子的電子產(chǎn)生電離變成具有特征能量的二次電子，稱為俄歇電子；

(6)電子躍遷復(fù)位過(guò)程中所放出能量若以光量子形式釋放出，則產(chǎn)生具有特征能量的X射線，簡(jiǎn)稱為特征X射線；

(7）若入射電子使試樣的原子內(nèi)電子發(fā)生電離，高能級(jí)的電子向低能級(jí)躍遷時(shí)發(fā)出的光波長(zhǎng)較長(zhǎng)，稱為陰極熒光。

掃描電子顯微鏡是一種多功能的儀器,具有很多優(yōu)越的性能,是用途最為廣泛的一種儀器, 鑠思百檢測(cè)在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。

鑠思百檢測(cè)為您提供TEM測(cè)試服務(wù)。

聯(lián)系我們：

黃工：1507104 0697 劉工：15972160904

微信同號(hào)

關(guān)鍵詞：SEM,掃描電鏡,入射電子,X射線二次電子,鑠思百檢測(cè)