SEM試樣制備

掃描電鏡由電子槍發(fā)射出來的電子束，在加速電壓的作用下，經過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5nm，經過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統(tǒng)，電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。

由于高能電子束與樣品物質的交互作用，結果產生了各種信息：二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極發(fā)光和透射電子等。這些信號被相應的接收器接收，經放大后送到顯像管的柵極上，調制顯像管的亮度。由于經過掃描線圈上的電流是與顯像管相應的亮度一一對應，也就是說，電子束打到樣品上一點時，在顯像管熒光屏上就出現一個亮點。

鑠思百檢測掃描電鏡就是這樣采用逐點成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序，成比例地轉換為視頻信號，完成一幀圖像，從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像。

試樣制備

和透射電鏡相比，掃描電鏡試樣制備比較簡單。掃描電鏡的一個突出優(yōu)點，就是能讓鑠思百檢測在保持材料原始形狀情況下，可以直接觀察和研究試樣表面形貌及其它物理效應（特征）。掃描電鏡的有關制樣技術是以透射電鏡、光學顯微鏡及電子探針X射線顯微分析制樣技術為基礎發(fā)展起來的，有些方面還兼具透射電鏡制樣技術，所用設備也基本相同。但因掃描電鏡有其本身的特點和觀察條件，只簡單地引用已有的制樣方法是不夠的。掃描電鏡的特點是：

①觀察試樣為不同大小的固體（塊狀、薄膜、顆粒），并可在真空中直接進行觀察。

②試樣應具有良好的導電性能，不導電的試樣，其表面一般需要蒸涂一層金屬導電膜。

③試樣表面一般起伏（凹凸）較大。

④觀察方式不同，制樣方法有明顯區(qū)別。

⑤試樣制備與加速電壓、電子束流、掃描速度（方式）等觀察條件的選擇有密切關系。

上述項目中對試樣導電性要求是最重要的條件。鑠思百檢測在進行掃描電鏡觀察時，如試樣表面不導電或導電性不好，將產生電荷積累和放電，使得入射電子束偏離正常路徑，最終造成圖像不清晰乃至無法觀察和照相。

鑠思百檢測為您提供掃描電鏡測試服務。

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關鍵詞：掃描電鏡,透射電鏡,電鏡制樣