如何解決SEM圖像的飄移問題

如何解決SEM圖像的飄移問題

在做SEM掃描電鏡測(cè)試時(shí)，經(jīng)常有同學(xué)會(huì)問到，SEM測(cè)試時(shí)樣品為什么會(huì)飄啊，針對(duì)此，鑠思百檢測(cè)小編整理了相關(guān)知識(shí)，希望能幫到各位同學(xué)

常見圖像漂移問題有：

1、樣品固定不牢固，或者樣品太。因此樣品大小要合適，并用導(dǎo)電膠固定牢固。

2、剛放入樣品，開始觀察時(shí)圖像漂移較大，可等半小時(shí)左右在開始，圖像漂移消除或減弱。

3、樣品導(dǎo)電性差，荷電現(xiàn)象導(dǎo)致圖像漂移不清楚，可降低電壓或者樣品表面噴金（碳）處理。

4、掃描電鏡對(duì)中不好導(dǎo)致聚焦過程中圖像移動(dòng)。

5、高倍觀察時(shí)，環(huán)境振動(dòng)也會(huì)導(dǎo)致圖像漂移或者浮動(dòng)。

接下來我們來看看在實(shí)際操作中遇到的一些問題

1、做SEM的時(shí)候，放大率為80kX，圖像總會(huì)自己移動(dòng)，調(diào)焦、象散、aperture也都調(diào)到最優(yōu)了。

答：如果是絕緣襯底，貼導(dǎo)電膠的樣品，肯定是導(dǎo)電膠沒有貼牢，拿出來重新貼好就解決了.

2、在測(cè)試SiO2納米粒子的時(shí)候，SEM圖出現(xiàn)嚴(yán)重的漂移現(xiàn)象，倍數(shù)大的時(shí)候粒子也會(huì)有變形。這是什么原因呢？是導(dǎo)電性差和真空度不夠?qū)е碌膯?？測(cè)試的時(shí)候沒有噴金，真空度10^-3。

答：因?yàn)闃悠凡粚?dǎo)電所致，在不影響形貌的情況下，這種情況建議噴金或者噴鉑處理再去做掃描。硅是半導(dǎo)體，二氧化硅不摻雜的情況下不導(dǎo)電。樣品分散在導(dǎo)電膠上噴金處理即可。即使噴金可能還是有點(diǎn)，記得拍照的時(shí)候，掃速快一點(diǎn)即可。

3、在拍高倍SEM電鏡的操作中，發(fā)現(xiàn)聚焦的時(shí)候聚焦區(qū)域的圖像在漂移且很難調(diào)清晰，樣品為無機(jī)不導(dǎo)電材料，需噴金一次，是不是跟噴金過程的好壞有關(guān)？

答：首先，樣品一定要粘緊，如果是較細(xì)小的顆粒，可以用平整的東西壓一下。樣品導(dǎo)電不好的話也很容易造成圖像漂移，建議將樣品鋪成很薄的一層，盡量在單層樣品區(qū)域拍照。還有就是先噴碳后噴金，盡量增強(qiáng)樣品的導(dǎo)電性，但是也不易過多，避免遮擋樣品表面形貌。

4、做SEM拍照的時(shí)候?yàn)槭裁磮D像會(huì)飄逸啊，還有就是噴金屬的時(shí)候，是鉑金好還是黃金好，

答：一般是因?yàn)閭錁訒r(shí)炭膠沒有粘牢固，或者樣品導(dǎo)電性不好；噴金，是用來提高樣品導(dǎo)電性的，一般是Pt，很少用Au；另外也可以選擇鍍碳來增加導(dǎo)電性。

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