eels是什么測(cè)試

入射電子穿透樣品時(shí)，與樣品發(fā)生非彈性相互作用，電子將損失一部分能量。如果對(duì)出射電子按其損失的能量進(jìn)行統(tǒng)計(jì)計(jì)數(shù)，便得到電子的能量損失譜。由于非彈性散射電子大都集中分布在一個(gè)頂角很小的圓錐內(nèi)，適當(dāng)?shù)胤胖锰筋^， EELS 的接受效率會(huì)很高，相比 EDS分析， EELS 的記譜時(shí)間更短，特別是用于小束斑分析薄樣品時(shí)；另外， EDS 在探測(cè)輕元素（ Z＜11）時(shí)只有 1%的信號(hào)能接收到，且譜線重疊比較嚴(yán)重，而 EELS 的能量分辨率（1eV）遠(yuǎn)高于 EDS（ 130eV），因此，EELS 在探測(cè)輕元素方面更有優(yōu)勢(shì)；而且，除了對(duì)樣品進(jìn)行定性和定量的成分分析外， EELS 的精細(xì)結(jié)構(gòu)還可提供元素的化學(xué)鍵態(tài)、最近鄰原子配位等結(jié)構(gòu)信息，這是其他電子顯微分析方法所不能比擬的。

將要研究的材料置于電子顯微鏡中，用一束動(dòng)能分布很窄的電子轟擊。一部分入射電子經(jīng)歷非彈性散射，其動(dòng)能發(fā)生改變（通常是減?。?dòng)能損失的機(jī)理有很多，包括:電子-聲子相互作用，帶內(nèi)或帶間散射，電子-等離子體相互作用，內(nèi)殼層電子電離，及切連科夫輻射。電子的能量損失可以被電子譜儀定量的測(cè)量出來(lái)。內(nèi)殼層電子電離引起的非彈性散射對(duì)于分析材料的元素構(gòu)成尤為有用。比方說(shuō)，碳原子的1s電子電離能為285eV。如果285eV的動(dòng)能損失被探測(cè)到，則材料中一定存在碳元素。