XRD (×射線物相定性分析)︰用×射線衍射數(shù)據(jù)對樣品中存在的物相(而不是化學(xué)成分中的元素構(gòu)成進(jìn)行鑒別。測定結(jié)晶情況,晶相,晶體結(jié)構(gòu)及成鍵狀態(tài)等等;可以確定各種晶態(tài)組分的結(jié)構(gòu)和含量。假如你的樣品是膜,比較薄,那么容易將基地的衍射峰帶進(jìn)來,這樣給分析容易帶來影響,XRD還可以測量膜的厚度;
粉末的XRD主要就是物相的定性分析和定量分析,還有晶粒大小等。
XRD射線能穿透的深度一般是10到幾十微米,掠入射檢測深度要小的多。
任何結(jié)晶物質(zhì)都有其特定的晶體結(jié)構(gòu)參數(shù)當(dāng)×射線通過晶體時,產(chǎn)生特定的衍射圖形,即衍射譜線,不同物質(zhì)混在一起時,它們各自的衍射數(shù)據(jù)將同時出現(xiàn),互不干擾地疊加在一起。因此,可根據(jù)各自的衍射數(shù)據(jù)來鑒定各種不同的物相。
XRD物相定性分析是將樣品的衍射數(shù)據(jù)與已知物相的衍射數(shù)據(jù)或圖譜進(jìn)行對比,一旦二者相符,則表明待測物相與已知物相是同一物相。
靈敏度較低,一般只能測定樣品中含量在1%以上的物相同時,定量測定的準(zhǔn)確度也不高,一般在1%的數(shù)量級。XRD物相分析所需樣品量大( 0.1g ) ,才能得到比較準(zhǔn)確的結(jié)果,對非晶樣品不能分析。