SEM掃描電鏡測試主要測什么

一、SEM檢測的工作原理

SEM掃描電鏡是一種介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀觀察手段，能夠直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能來進(jìn)行微觀成像。其原理是當(dāng)具有一定能力的電子束轟擊樣品表面的時候，電子與物質(zhì)元素的原子核以及外層的電子產(chǎn)生了單次或者多次的碰撞，一些電子反射出樣品的表面，而一部分則滲入樣品中，被樣品所吸收。在該過程當(dāng)中，大部分的電子能量會轉(zhuǎn)換成樣品熱能，而剩下的則會在其中激發(fā)出各種信號。

二、SEM測試可以測什么？

SEM檢測可應(yīng)用于微觀形貌、顆粒尺寸、微區(qū)組成、元素分布、元素價態(tài)和化學(xué)鍵、晶體結(jié)構(gòu)、相組成、結(jié)構(gòu)缺陷、晶界結(jié)構(gòu)和組成等。SEM一般通過組合EDS使用，可利用EDS進(jìn)行元素成分定性、定量分析。用來觀測芯片內(nèi)部層次和測量各層厚度、觀測并拍攝局部異常照片和測量異常尺寸、測量芯片關(guān)鍵尺寸線寬和孔徑、定性和定量分析異常污 染物的化學(xué)元素組成。

三、SEM樣品的要求

1. 樣品要求：粉體需5mg左右；塊體長寬高需小于10mm（超出該尺寸請?zhí)崆奥?lián)系技術(shù)顧問確認(rèn)，鑲嵌樣及多孔材料抽真空時間較長，尺寸盡量小一些，非特殊原因請務(wù)必按要求制樣，以免耽誤測試效果及周期）；

液態(tài)或粘稠樣品務(wù)必烘干寄樣，如電子束照射下流動變形，則無法拍攝；

2. 關(guān)于噴金：導(dǎo)電性差及磁性樣品為保證拍攝效果，建議噴金（為避免能譜測試元素干擾請選擇合適的電極類型）；

3. 關(guān)于制樣：拍攝截面請盡量提前制備截面，軟質(zhì)且較薄的材料可使用液氮脆斷，硬質(zhì)材料或厚度大的建議直接掰斷或敲斷即可，液氮脆斷不適用；納米粉末容易團(tuán)聚，請選擇合適的分散溶劑及超聲時間；

4. 能譜測試需要原始形貌圖及原始數(shù)據(jù)的，請備注；

5. 不同設(shè)備的倍數(shù)有一定區(qū)別，為保證得到滿意的效果，請?zhí)峁┬蚊矃⒖紙D及能譜位置說明，如無類似參考，請盡量文字詳細(xì)描述需求；

6.磁性說明：含鐵、鈷、鎳、錳等磁性元素均視為磁性樣品（吸鐵石能吸起來為強磁，吸鐵石吸不起來為弱磁）。

若樣品有磁性，務(wù)必備注清楚；若隱瞞樣品實際信息，導(dǎo)致設(shè)備損壞，需承擔(dān)全部賠償責(zé)任；

7.特別注意：測試過程中老師會根據(jù)要求和樣品實際情況盡力拍攝，但無法保證一定拍到理想形貌；常規(guī)倍數(shù)可達(dá)5w-10w，最大20w倍，但實際效果和樣品性質(zhì)有關(guān)，若樣品有磁性或?qū)щ娦圆?，高倍下不能保證好的效果，敬請理解！

8.如有其他疑問，請聯(lián)系前期對接的技術(shù)顧問；

溫馨提示

1、不定期推出各種優(yōu)惠活動，詳情咨詢客服。

2、測試前聯(lián)系在線客服確認(rèn)測試條件、檢測費用、檢測周期等。

檢測咨詢熱線：15071040697    黃工QQ：82187958

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