SEM測(cè)試常見問(wèn)題

SEM掃描電鏡常見問(wèn)題

電鏡圖像的標(biāo)尺與放大倍數(shù)的關(guān)系

電鏡圖像的標(biāo)尺通常都可以設(shè)定為固定的或可變的。前者是標(biāo)尺的長(zhǎng)度不變，但代表的長(zhǎng)度隨放大倍率變化；后者是標(biāo)尺長(zhǎng)度適應(yīng)不同階段放大倍率可變，但代表的長(zhǎng)度在一定的放大倍率范圍內(nèi)固定不變。

因此同樣的放大倍率可以有不同的標(biāo)尺，但在同一輸出媒介上的實(shí)際尺寸不變。改變輸出方式時(shí)，放大倍率已改變（當(dāng)然顯示的放大倍率不會(huì)變化），測(cè)量的尺寸當(dāng)然也就改變了。

因此，標(biāo)尺數(shù)值大小跟放大倍數(shù)沒有必然關(guān)系，具體數(shù)值大小和不同的廠商設(shè)置有關(guān)。

圖像差與導(dǎo)電性

自由電子的累積會(huì)在樣品的局部形成靜電場(chǎng)，影響正常電子信息的溢出，產(chǎn)生荷電效應(yīng)，從而導(dǎo)致圖像局部異常明亮，局部異常暗；表面磨平；圖像畸形；圖像漂移現(xiàn)象；而樣品的導(dǎo)電性差是產(chǎn)生這種現(xiàn)象的主要原因。

一般通過(guò)噴金（碳），導(dǎo)電染色等方法增強(qiáng)樣品導(dǎo)電性，降低加速電壓或者在產(chǎn)生荷電效應(yīng)前快速觀察。

電子束損傷

部分樣品不耐電子束，在拍攝時(shí)會(huì)造成拍攝部位破裂和局部漂移；為避免這種現(xiàn)象的產(chǎn)生，降低加速電壓及較小電子束流，加厚噴鍍金屬膜，在拍攝時(shí)快速選定要拍攝的部位，較短時(shí)間內(nèi)聚焦拍攝。