掃描電鏡和透射電鏡的區(qū)別

相信很多同學(xué)都做過SEM掃描電鏡或者TEM透射電鏡測試但是仍有同學(xué)對這兩種測試方式不太熟悉，今天就給大家介紹一下掃描電鏡和透射電鏡的區(qū)別。先來看看掃描電鏡和透射電鏡工作原理的區(qū)別。

1.掃描電鏡和透射電鏡的工作原理

掃描電鏡(SEM)

掃描電鏡(SEM)使用一組特定的線圈以光柵樣式掃描樣品，并收集散射的電子，放大再成像對樣品表面或者斷口形貌進行觀察和分析。

透射電鏡(TEM)

而透射電鏡(TEM)是以電子束透過樣品經(jīng)過聚焦與放大后所成的物像，因此，透射電鏡(TEM)觀察的是樣品的內(nèi)部精細(xì)結(jié)構(gòu)，如晶體結(jié)構(gòu)，形態(tài)等，而掃描電鏡(SEM)則提供了樣品表面及其組成的信息。TEM的分辨率比SEM要高一些。

TEM可以標(biāo)定晶格常數(shù)，從而確定物相結(jié)構(gòu)；SEM主要可以標(biāo)定某一處的元素含量，但無法準(zhǔn)確測定結(jié)構(gòu)。

2.掃描電鏡和透射電鏡的樣品制備

TEM:電子的穿透能力很弱，透射電鏡往往使用幾百千伏的高能量電子束，但依然需要把樣品磨制或者離子減薄或者超薄切片到微納米量級厚度，放在直徑3mm的銅網(wǎng)上觀察。要不電子束也打不透，這是基本要求。

SEM:幾乎不用制樣，直接觀察。大多數(shù)非導(dǎo)體需要制作導(dǎo)電膜，絕大多數(shù)幾分鐘的搞定，含水的生物樣品需要固定脫水干燥。二者對樣品共同要求:固體，盡量干燥，盡量沒有油污染，外形尺寸符合樣品室大小要求。

3、掃描電鏡和透射電鏡操作上的差異:

這兩種電子顯微鏡系統(tǒng)在操作方式上也有所不同。掃描電鏡（SEM)通常使用15KV以上的加速電壓，而透射電鏡（TEM)可以將其設(shè)置在60-300kV的范圍內(nèi)。與掃描電鏡（SEM)相比，透射電鏡（TEM)提供的放大倍數(shù)也相當(dāng)高:透射電鏡(TEM)可以將樣品放大5000萬倍以上，而對于掃描電鏡(SEM)來說，限制在1-2百萬倍之間。

然而，掃描電鏡(SEM)可以實現(xiàn)的大視場(FOV)遠(yuǎn)大于透射電鏡(TEM)，用戶可以只對樣品的一小部分進行成像。同樣，掃描電鏡(SEM)系統(tǒng)的景深也遠(yuǎn)高于透射電鏡(TEM)系統(tǒng)。

因為放大的倍數(shù)不同，所以如果你做的產(chǎn)物粒徑很小納米級的就要考慮照tem可以觀察到微觀結(jié)構(gòu)。

4、在掃描電鏡和透射電鏡的之間做出選擇

掃描電鏡和透射電鏡的區(qū)別？

簡單來說，掃描電鏡，是觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)特征；透射電鏡，是觀察樣品的內(nèi)部精細(xì)結(jié)構(gòu)。

當(dāng)你想要從樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)獲得信息時，透射電鏡(TEM)是最佳的選擇，而當(dāng)需要樣品表面信息時，掃描電鏡(SEM)是首選。

當(dāng)然，主要決定因素是兩個系統(tǒng)之間的巨大價格差異，以及易用性。 透射電鏡(TEM)可以為用戶提供更多的分辨能力和多功能性，但是它們比掃描電鏡(SEM)更昂貴且體型較大，需要更多操作技巧和復(fù)雜的前期制樣準(zhǔn)備才能獲得滿意的結(jié)果。

-ＥＮＤ-

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