SEM測(cè)試步驟

SEM測(cè)試步驟是什么？今天鑠思百檢測(cè)小編整理了一些資料，希望能幫到大家。

一、掃描電鏡SEM樣品準(zhǔn)備流程

1.制載樣片：將硅片用玻璃刀剪切至正方形5mm*5mm大小，整齊，均勻

（此為樣品測(cè)試負(fù)載載體）。

2.樣片清洗：將剪切好的硅片至于EP管，加入少量無水乙醇淹沒硅片，進(jìn)行超聲清洗2-3次，自然瀝干。

3.樣片放置：將清洗完成的硅片至于六孔培養(yǎng)基，每孔一個(gè)，標(biāo)記樣片序號(hào)！

4.樣品稀釋：將樣品稀釋（根據(jù)樣品性質(zhì)選擇適宜溶劑，水或醇作為稀釋液）

5.樣品點(diǎn)涂：吸取少量稀釋后樣品點(diǎn)于硅片，呈半透明狀即可，記錄樣品序號(hào)！

6.樣品烘干：將六孔培養(yǎng)基整體開蓋置于烘箱上層或自然風(fēng)干

二、掃描電鏡SEM樣品上機(jī)流程

7.樣品貼樣：根據(jù)樣品數(shù)量取導(dǎo)電膠貼于樣品臺(tái)，依次貼樣使其呈緊湊有序狀，記錄樣品順序，導(dǎo)電膠放置順序！

8.樣品噴金：提前聯(lián)系實(shí)驗(yàn)員進(jìn)行噴金，到預(yù)約時(shí)間請(qǐng)實(shí)驗(yàn)員換樣上樣，登錄賬號(hào)，調(diào)試儀器真空情況。

三、掃描電鏡操作流程

9.檢查樣品制備是否按照規(guī)范做好；

10.主界面-右上區(qū)域-Beam Control-Vent-樣品倉放真空

11.樣品倉放真空結(jié)束，開倉放入新制備樣品，記錄此時(shí)電板、膠及樣品位置！

12.調(diào)試樣品臺(tái)高度，關(guān)倉輕推。主界面-右上區(qū)域- Beam Control-Pump-抽真空

13.確認(rèn)樣品倉真空環(huán)境達(dá)成。主界面-右區(qū)域-Column-Beam On-打開電子束流

14.鼠標(biāo)左鍵點(diǎn)擊工作窗口（左上）-Start Image Acquisition-激活-調(diào)節(jié)圖像

15.通過反復(fù)調(diào)節(jié)必要的放大倍率、加速電壓、光斑、明暗、對(duì)比度、聚焦得到所需圖像，常規(guī)操作指令：

①□1狀態(tài)，100X倍率，按住滾輪拖動(dòng)鼠標(biāo)尋找邊緣樣品；

②□1狀態(tài)，雙擊左鍵定位目標(biāo)區(qū)域；

③□1狀態(tài)，按住右鍵左右全視角拖動(dòng)，重新對(duì)焦；

④□1狀態(tài)，注意，找到目標(biāo)放大至10000X時(shí)，點(diǎn)擊上方換二倍鏡；

⑤□1狀態(tài)，注意，對(duì)焦后，單擊右上角，切換 □4狀態(tài)掃描拍照；

⑥□4狀態(tài)，注意，掃描時(shí)禁止繼續(xù)操作，待左邊綠色基線掃描至最下端，Save as 進(jìn)行保存，注意命名序號(hào)；

⑦□4狀態(tài)，保存后先點(diǎn)擊右上角切換 □1狀態(tài)，再縮小至9800X換一倍鏡，再縮小找其他目標(biāo)（注意下調(diào)一倍鏡）；縮小至100X可看到□硅片，換樣；

17.電鏡結(jié)束點(diǎn)擊Pause Image Acquisition凍結(jié)窗口，點(diǎn)擊Beam off，關(guān)閉CIV閥

18.主界面-右上區(qū)域-Beam Control-Vent-樣品倉放真空，撤樣，關(guān)倉，抽真空。

-END-

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