GB_T 25189-2010 微束分析 掃描電鏡能譜儀定量分析參數(shù)的測定方法

【國家標準】標準號：GB_T 25189-2010

　中文名：微束分析 掃描電鏡能譜儀定量分析參數(shù)的測定方法

　范圍：

本標準規(guī)定了掃描電鏡一能譜儀化學(xué)成分定量分析相關(guān)參數(shù)的測定方法。

本標準適用于對掃描電鏡中影響定量分析性能的相關(guān)參數(shù)和能譜儀基本參數(shù)的測定，并以元素成分定量分析結(jié)果對儀器做出綜合分析。

描電鏡能譜儀定量分析原理

掃描電鏡發(fā)射的具有一定能量的聚焦電子束轟擊試樣表面時， 產(chǎn)生被激發(fā)元素的特征Ｘ射線。這些特征ｘ射線經(jīng)半導(dǎo)體探測器檢測并經(jīng)過信號轉(zhuǎn)換、放大等一系列處理和分析后，可以得到試樣中所含各元素的特征Ｘ射線強度值， 并通過與相應(yīng)元素標準樣品的ｘ射線能譜的對比測定和修正計算處理，可以獲得被測試樣化學(xué)組成的定量分析結(jié)果。

發(fā)布時間：2010-09-26

　實施時間：2011-08-01

　頒發(fā)部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

鑠思百檢測動態(tài)

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