GB_T 30453-2013 硅材料原生缺陷圖譜 二維碼
發(fā)表時間:2019-12-13 09:54作者:武漢鑠思百檢測技術(shù)有限公司來源:鑠思百檢測 【國家標(biāo)準(zhǔn)】標(biāo)準(zhǔn)號:GB / T 30453 — 2013 中文名:硅材料原生缺陷圖譜 范圍: 本標(biāo)準(zhǔn)給出 了硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料的各種原生缺陷及其密切相關(guān)誘生缺陷的術(shù)語及其形貌特征圖譜。分析了其產(chǎn)生的原因和消除方法。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料生產(chǎn)研究中各種缺陷的檢驗。 硅器件、 集成電路的生產(chǎn)研究也可參考本標(biāo)準(zhǔn)。
發(fā)布時間:2013-12-31 實施時間:2014-10-01 頒發(fā)部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
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