電子探針譜儀

電子探針譜儀

分為能譜儀和波譜儀

圖14 電子探針譜儀

關(guān)鍵詞：電子探針譜儀?

原理：利用聚焦電子束（電子探測針）照射試樣表面待測的微小區(qū)域，從而激發(fā)試樣中元素產(chǎn)生不同波長（或能量）的特征X射線。用X射線譜儀探測這些X射線，得到X射線譜。根據(jù)特征X射線的波長（或能量）進行元素定性分析；根據(jù)特征X射線的強度進行元素的定量分析。

適合分析材料:金屬及合金，高分子材料、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析

應(yīng)用領(lǐng)域：地質(zhì)，冶金，石油，化工，礦產(chǎn)，農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域

注意事項：樣品要有良好的導電、導熱性，表面平整度等

特點：波譜儀分析的元素范圍廣、探測極限小、分辨率高，適用于精確的定量分析。 能譜儀分析速度快，可用較小的束流和微細的電子束，對試樣表面要求不如波譜儀那樣嚴格，因此特別適合于與掃描電子顯微鏡配合使用。

檢測范圍：

特征X射線的波長和能量表如下：

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