GB-T 18907-2013 微束分析 分析電子顯微術(shù) 透射電鏡選區(qū)電子衍射分析方法

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用透射電子顯微鏡（TEM）對(duì)薄晶體樣品的微米和亞微米尺寸區(qū)域進(jìn)行選區(qū)電子衍射分析的方法。測(cè)試樣品可以從各種金屬或非金屬材料的薄片中獲得，也可以由細(xì)粉或提取的復(fù)制樣品制成。該方法所能分析的樣品最小選擇面積直徑取決于顯微鏡物鏡的球面像差系數(shù)。對(duì)于現(xiàn)代TEM，樣品的最小選擇區(qū)域直徑通常可以達(dá)到0.5μm。當(dāng)待分析樣品面積的直徑小于0.5μm時(shí)，仍可以參照本標(biāo)準(zhǔn)的分析方法。然而，由于球差的影響，衍射頻譜上的一些信息可能來自選定孔徑定義的區(qū)域之外。在這種情況下，如果條件允許，最好使用micro。(納)衍射或者會(huì)聚束電子衍射方法。選擇的區(qū)域電子衍射方法的成功應(yīng)用取決于所獲得的衍射光譜指數(shù)是否被正確校準(zhǔn)，而不管樣品的晶體帶軸與入射電子束平行，所以這種分析常常需要樣品傾斜和旋轉(zhuǎn)裝置的幫助。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于從晶體樣品中獲得校準(zhǔn)電子顯微鏡的saed光譜、標(biāo)定衍輻射光譜指數(shù)和衍射常數(shù)。

發(fā)布時(shí)間：2013-07-19   實(shí)施時(shí)間：2014-03-01

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