GBT 34326-2017表面化學分析深度分析AES和XPS深度分析離子束對準方法及其束流或束流密度測量方法

GBT 34326-2017表面化學分析深度分析AES和XPS深度分析離子束對準方法及其束流或束流密度測量方法

本標準規(guī)定了在俄歇電子能譜（AES）和X射線光電子能譜（XPS）中使用惰性氣體離子的離子束對準方法，以確保濺射深度分析具有良好的深度分辨率和最佳的表面清洗效果。這些方法分為兩類：一類是通過法拉杯測量離子束流，另一類是通過成像方法測量離子束流。法拉cup方法還規(guī)定了離子束密度和束流分布的測量。這些方法不包括優(yōu)化深度分辨率

這些方法適用于束斑直徑小于1mm的離子槍。

發(fā)布時間：2017-09-29   實施時間：2018-08-01

發(fā)布部門：國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局