GB-T21006-2007 表面化學(xué)分析 X射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀強(qiáng)度標(biāo)的線性

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發(fā)表時間：2019-10-29 17:05作者：武漢鑠思百檢測技術(shù)有限公司來源：鑠思百

GB-T21006-2007表面化學(xué)分析X射線光電子能譜儀和俄歇電子能譜儀強(qiáng)度標(biāo)準(zhǔn)的線性

　　為了用電子能譜或x射線光電子能譜對材料表面進(jìn)行定量分析，有必要測量譜線強(qiáng)度。除非進(jìn)行校正，否則儀器的非線性強(qiáng)度標(biāo)將直接導(dǎo)致測量結(jié)果的誤差。一般來說，強(qiáng)度標(biāo)在很低的計數(shù)率下是線性的，但隨著計數(shù)率的增加會變得非線性。強(qiáng)度測量依賴于強(qiáng)度信號測量系統(tǒng)，并且輸出信號被設(shè)置為與被測量的強(qiáng)度成比例。在計數(shù)系統(tǒng)中，這個比率預(yù)計為（aes）。如果比率隨信號強(qiáng)度或計數(shù)率變化，則測量系統(tǒng)被認(rèn)為是非線性的。一般認(rèn)為小于1%的非線性不嚴(yán)重。當(dāng)計數(shù)率超過最大允許計數(shù)率的5%時，強(qiáng)度標(biāo)的非線性可能超過1%。對于許多儀，只要檢測系統(tǒng)設(shè)置正確，非線性在幾個月內(nèi)不會有明顯變化。對于上述儀器，可以利用對應(yīng)關(guān)系校正計數(shù)率，從而使校正后的[強(qiáng)度 ]在最大允許計數(shù)率的較大范圍內(nèi)是線性的。本標(biāo)準(zhǔn)描述了兩個簡單的校正關(guān)系，涉及一個稱為檢測系統(tǒng)死區(qū)時間的參數(shù)。有些儀器的非線性不能用簡單的關(guān)系來預(yù)測或描述。對于這些儀器，該標(biāo)準(zhǔn)可以用來測量非線性度，并在可接受的線性離散極限下確定最大計數(shù)率。這種線性離散極限可由用戶根據(jù)分析要求合理選擇。本標(biāo)準(zhǔn)提供了兩種測量線性度的方法。方法一的原理是光譜儀的輸出信號與aes中的電子束流或xps“]中的x射線束流成正比。這是最簡單的方法，它可以操作在以下儀器上，其波束或磁通可以設(shè)置在30或更多近似等距的間隔，直到使用本標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的最大計數(shù)率所需的光束或磁通。然而，對于某些x射線通量，只能設(shè)置2個或小于30個xps分光計的預(yù)定值，不能使用方法1，需要方法2 12j。當(dāng)識別出新的光譜儀時，需要使用該標(biāo)準(zhǔn)使光譜儀在適當(dāng)?shù)挠嫈?shù)率范圍內(nèi)工作。本標(biāo)準(zhǔn)在下列情況下需要重復(fù)使用：（aes））檢測電路任何何實(shí)質(zhì)調(diào)整后；（xps）（自從上次使用本標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)后）倍增器電壓增加了制造商提供的增量范圍1/3；aes）電子更換后倍增器xps）間隔約12個月后

發(fā)布時間：2007-07-26 　實(shí)施時間：2008-03-01

發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

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