GB-T31470-2015 俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測試中確定檢測信號對應(yīng)樣品區(qū)域的通則

GB-T 31470-2015俄歇電子能譜和X射線光電子能譜檢測中與檢測信號對應(yīng)的樣品面積測定通則

電子能譜和x射線光電子能譜在材料表面分析中有著廣泛的應(yīng)用。本標(biāo)準(zhǔn)概述了當(dāng)掃描面積大于分析儀檢測面積時，通過選擇具有聚焦電子束或聚焦焦x射線束功能的儀器的電子能量分析儀的工作條件來確定觀測樣品面積的方法。樣品的觀察區(qū)域取決于電子在能量分析中是否減速之前、分析儀的通過能量或減速比。如果在能量分析之前中電子減速，則可以測量選定的狹縫或孔徑和電子能量值。電子能量分析儀的觀察區(qū)域依賴性操作條件的選擇也可能與樣品的適當(dāng)調(diào)整有關(guān)。本標(biāo)準(zhǔn)可提供電子能量分析儀在特定工作條件下的成像特性信息。此信息有助于將分析儀性能與制造商手冊中描述的性能進(jìn)行比較

范圍：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子能譜和幾種X射線光電子能譜檢測信號對應(yīng)的樣品面積的測定方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜儀和X射線光電子能譜儀，其條件是：入射X射線束激發(fā)的樣品面積大于分析儀檢測到的樣品面積；從樣品到分析儀入口的過程中，光電子通過自由空間；輔助電子槍產(chǎn)生可變能量電子束照射樣品。

發(fā)布時間：2015-05-15   實施時間：2016-01-01

發(fā)布部門：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

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