掃描電鏡EDS能譜數(shù)據(jù)圖怎么看？

掃描電鏡EDS能譜數(shù)據(jù)圖怎么看？

鑠思百檢測(cè)-EDS能譜儀

1.簡(jiǎn)介：

EDS，是英文Energy Dispersive Spectrometer的簡(jiǎn)稱，中文為X射線能譜分析。現(xiàn)在已經(jīng)是掃描電鏡SEM的標(biāo)配之一，主要用來(lái)分析試樣的元素成分和含量，也就是常規(guī)說(shuō)的定性和半定量分析。實(shí)際使用中因電鏡設(shè)備不同及相關(guān)處理軟件的差異，可以確定樣品中的大部分元素，只在分析的元素含量上會(huì)有差異。

2. 數(shù)據(jù)分析：

一張EDS能譜圖，橫坐標(biāo)表示的是是所激發(fā)元素的加速電壓，縱坐標(biāo)是能譜儀所收集的反射粒子數(shù)。如果試樣所呈現(xiàn)的譜簡(jiǎn)單，如只有很少的峰并且峰與峰之間沒(méi)有疊加，設(shè)備就能很好的自動(dòng)識(shí)別各峰。反之，譜越復(fù)雜越容易識(shí)別錯(cuò)誤。比如，Al的Kα峰與Br的Lα峰疊加，容易識(shí)別不出來(lái)。當(dāng)設(shè)備自動(dòng)識(shí)別不能滿足要求時(shí)就需要手動(dòng)調(diào)整能峰，去掉不需要的峰。分析人員要熟悉分析試樣，熟悉常見(jiàn)元素的重疊峰，（如S的Kα與Mo的Lα重疊）、雜峰。更要知道在制作樣品及測(cè)試過(guò)程中會(huì)造成哪些儀器假峰進(jìn)行綜合分析判別。

以上是掃描電鏡SEM EDS能譜儀的數(shù)據(jù)的基本介紹。