SEM的特點-SEM測試主要測什么

同其它方式的顯微鏡比較，SEM具有如下特點:

（1）能直接觀察大尺寸試樣的原始表面。其能夠直接觀察尺寸可大到直徑為100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對試樣的形狀沒有任何限制，粗糙表面鑠思百檢測也能觀察。

（2）試樣在鑠思百檢測樣品室中可動的自由度非常大。其它方式顯微鏡的工作距離通常只有2~3mm，故實際上只允許試樣在兩度空間內(nèi)運動。但在SEM由于工作距離大，焦深大，樣品室的空間也大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細節(jié)帶來無比的方便。

（3）觀察試樣的視場大。若采用30cm的顯像管，放大倍數(shù)為10倍時，其視場范圍可達30mm。

（4）焦深大，圖像富立體感。SEM的焦深比TEM大10倍，比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖像景深大，故所得掃描電子像富有立體感。

（5）掃放大倍數(shù)的可變范圍很寬，且不用經(jīng)常對焦。SEM的放大倍數(shù)范圍很寬，鑠思百檢測一次聚焦好后即可從低倍到高倍，或低倍到高倍連續(xù)觀察，不用重新聚焦。

（6）在觀察厚塊試樣中，它能得到的較高的分辨率和最真實形貌。對厚塊試樣進行觀察，TEM鏡中要采用復(fù)膜方法，而復(fù)膜的分辨率通常只能達10nm，且觀察并不是試樣本身。因此，用SEM觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實的試樣表面資料。

（7）因電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。觀察時所用的電子探針電流小.電子探針的束斑尺寸小，電子探針的能量也比較小，而且是以光柵狀掃描方式照射試樣，因此，由于電子照射而發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小。

（8）能進行動態(tài)觀察。可以通過連接顯示裝置，觀察相變、斷裂等動態(tài)的變化過程。

（9）可以從試樣表面形貌獲得多方面資料?？梢酝ㄟ^信號處理方法，獲得多種圖像的特殊顯示方法，可以從試樣的表面形貌獲得多方面資料。

SEM除了觀察表面形貌外，還能進行成分和元素的分析。采用三透鏡式的SEM還可以通過電子通道花樣進行結(jié)晶學(xué)分析。由于掃描電鏡具有上述特點和功能，所以頗受科研工作者的重視，用途日益廣泛。

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