sem掃描電鏡圖片參數(shù)怎么看

1、掃描電鏡照片參數(shù)解讀

圖Ⅰ掃描電鏡圖片展示，EHT=20.00kV即加速電壓20kV;WD=8.2mm，即工作距離8.2mm;Mag=7.94KX即放大倍數(shù)7940倍;Signal A=SE2即用SE2探測(cè)器。

掃描電鏡參數(shù)眾多,皆可顯示在圖片下方工具欄中,但決定圖像質(zhì)量最直接、最關(guān)鍵因素是加速電壓（EHT)、工作距離(WD)、放大倍數(shù)(Mag）和檢測(cè)器種類。

2、電鏡參數(shù)解讀

2.1 加速電壓

       一般，加速電壓越高，圖像分辨率越高，當(dāng)樣品導(dǎo)電性好且不易受電子束損傷時(shí)可選用高加速電壓，這時(shí)電子束能量大，對(duì)樣品穿透深，材料襯度減小，圖像分辨率提高。但加速電壓過(guò)高，電子束對(duì)樣品的穿透能力過(guò)大，樣品表面信息缺失，樣品看起來(lái)像玉一樣，如圖2D。

       低加速電壓時(shí)，入射電子能量較低，其與樣品的作用深度較淺，更能反映樣品最表層的信息，有利于樣品表層形貌的觀察（圖2A，C);此外，低加速電壓可以有效地減少荷電現(xiàn)象，更易觀察不導(dǎo)電樣品。如圖2B，樣品在10kV加速電壓下邊緣過(guò)亮，說(shuō)明此處電荷大量積累，而圖2A用1kV加速電壓拍攝的同一部位就沒(méi)有明顯的荷電現(xiàn)象。

因此，根據(jù)自己的要求靈活地選擇加速電壓，才能得到理想的電鏡圖像。當(dāng)需要觀測(cè)樣品的表面信息、樣品的導(dǎo)電性較差、樣品的熱穩(wěn)定性較差時(shí)，需要選擇較低的，甚至是超低的加速電壓。當(dāng)需要得到分辨率高的圖像、樣品表面存在有機(jī)污染或是樣品內(nèi)部的相組成信息時(shí)，需要選擇較高的加速電壓。

圖2不同加速電壓條件下的二次電子像。A，C為 1KV加速電壓條件下圖像，圖像表面細(xì)節(jié)清晰。B為 10KV加速電壓條件下圖像，圖像邊緣效應(yīng)較強(qiáng)。D為15KV加速電壓條件下的圖像，圖像表面細(xì)節(jié)看不出。

2.2工作距離

工作距離(WD）是物鏡下極靴到樣品表面的距離。工作距離增大時(shí)，樣品上的束斑變大，分辨率下降，但孔徑角減小，景深增加。同時(shí)，較大的工作距離可以實(shí)現(xiàn)極小倍數(shù)成像，放大倍數(shù)能夠達(dá)到幾十倍（圖3)。通常工作距離可在2-45mm范圍內(nèi)選用。觀察高分辨圖像時(shí)可選用小于5mm的工作距離，配合本機(jī)Inlens 探測(cè)器;而觀察粗糙斷口表面或較大的植物樣品時(shí)可以選用10mm 以上的工作距離，以獲得較大的景深。

圖3不同工作距離條件下的二次電子像的最小倍數(shù)圖片。

2.3探測(cè)器種類

         SE2和Inlens都是二次電子探測(cè)器，用于樣品形貌檢測(cè)。ASB探測(cè)器是背散射電子探測(cè)器，用于元素襯度成像。詳見(jiàn):各種探測(cè)器成像效果

2.4 放大倍數(shù)和標(biāo)尺

掃描電鏡放大倍數(shù):體現(xiàn)線圈磁場(chǎng)變化控制電子束掃描區(qū)域大小的能力范圍，是圖像顯示尺寸和電子束在樣品掃描區(qū)域尺寸的線性比值，以M表示，如果樣品上長(zhǎng)度為L(zhǎng)直線上的信息，在顯像管上成像在L。長(zhǎng)度上，則放大倍數(shù)為:

M=Lc/Ls

        現(xiàn)在的掃描電鏡幾乎全部用數(shù)碼相機(jī)照相。每個(gè)廠家對(duì)放大倍數(shù)的定義均不相同。每個(gè)儀器上也會(huì)有很多放大倍數(shù)顯示方法，對(duì)于不同儀器，相同放大倍數(shù)下看到的區(qū)域不一定一樣大。此時(shí)需要看標(biāo)尺，所有儀器上的標(biāo)尺長(zhǎng)度是一致的。

而對(duì)于同一臺(tái)儀器，操作人員沒(méi)有調(diào)節(jié)放大倍數(shù)顯示方法的前提下，照的同一倍數(shù)的照片，大小絕對(duì)一致。但有時(shí)同一放大倍數(shù)下，顯示的標(biāo)尺是不一樣的，如有時(shí)5000倍的照片顯示 1um的標(biāo)尺，有時(shí)顯示的是2um的標(biāo)尺，但標(biāo)尺顯示的長(zhǎng)度絕對(duì)是按比例的。有很多同學(xué)要求拍照的時(shí)候一定要相同的倍數(shù)下相同的標(biāo)尺，但標(biāo)尺是儀器根據(jù)放大倍數(shù)自行跳轉(zhuǎn)的。非要調(diào)成一樣是可以的，但多花費(fèi)了時(shí)間，卻沒(méi)有實(shí)際意義。

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