SEM的EDS和mapping是什么區(qū)別？

SEM的EDS和mapping是什么區(qū)別？

          SEM的EDS和mapping有什么區(qū)別，我們先來簡單了解一下SEM和EDS的原理。

SEM用于觀察標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)，其工作原理是用一束極細(xì)的電子束掃描樣品，在樣品表面激發(fā)出次級電子，次級電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)，次級電子由探測體收集，并在那里被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘枺俳?jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹?qiáng)度，顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。

EDS是掃描電鏡上配搭的一個(gè)用于微區(qū)分析成分的配件——能譜儀，是用來對材料微區(qū)成分元素種類與含量分析，配合掃描電子顯微鏡與透射電子顯微鏡的使用。兩者組合使用，功能非常強(qiáng)大，既能觀察微區(qū)的形貌又能對微區(qū)進(jìn)行成分分析，在各類分析工作中被廣泛運(yùn)用。

SEM的EDS和mapping什么區(qū)別？

答：就定量來說，SEM點(diǎn)分析比線分析和面分析更準(zhǔn)確，掃描的方式不同，線分析和面分析只能定性的分析觀察視場的元素分布情況（線分析是沿著某個(gè)界面的元素分布起伏，而面分析是看整個(gè)視場的元素分布情況），點(diǎn)分析可以基本定量分析元素。
EDS mapping時(shí)間就長的多了，尤其是如果想得到比較確定的數(shù)據(jù)的話，一個(gè)線掃就可以耗費(fèi)半個(gè)小時(shí)。EDS mapping的分辨率不僅取決于束斑尺寸，由于收集時(shí)間比較長，樣品漂移的影響更大，所以比eels mapping 差不少。

“點(diǎn)掃和線掃都是對樣品的某一位置進(jìn)行微區(qū)元素分析,兩者區(qū)別是掃描能譜的面積大小不一。點(diǎn)掃可以給出掃描元素的相對含量,測試準(zhǔn)確性較高,常用于顯微結(jié)構(gòu)的成分分析。面掃是對樣品某一區(qū)域的元素分布進(jìn)行觀察。”

掃描電鏡能譜點(diǎn)掃，線掃和mapping之間的區(qū)別？

答：能譜點(diǎn)掃，線掃和mapping分別是在點(diǎn)范圍，線范圍，和面范圍內(nèi)獲得樣品的元素半定量信息，除此之外，線掃和mapping還能分析元素在線或面范圍內(nèi)的分布情況。

它們的意義在于點(diǎn)掃可以測試材料某一位置的元素種類和含量，面掃（mapping）的意義主要在于了解材料元素的區(qū)域分布，線掃的意義在于了解材料一條線上各個(gè)點(diǎn)的元素含量的變化。

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