EBSD樣品制備

EBSD，即電子背散射衍射（Electron Backscattered Diffraction ）。EBSD的主要特點是在保留掃描電子顯微鏡的常規(guī)特點的同時進行空間分辨率亞微米級的衍射。目前EBSD技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域集中于多種多晶體材料，例如金屬、合金、陶瓷、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、礦石，用以研究各種現(xiàn)象，如熱機械處理過程、塑性變形過程、與取向關(guān)系有關(guān)的性能、界面性能、相鑒定等。

　　EBSD樣品制備步驟：取樣，切割，鑲嵌，研磨，EBSD分析的每一步都非常重要。

　1、取樣要求

　　取樣部位必須與檢驗?zāi)康暮鸵笙嘁恢?，使所切取的試樣具有代表性。取樣是金相試樣制備的第一道工序，若取樣不?dāng)，則達不到檢驗?zāi)康模虼?，所取試樣?部位、 數(shù)量、 磨面方向等應(yīng)嚴格按照相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定執(zhí)行。

　　2、切割原則

　　最小接觸面積原則。切割時，應(yīng)當(dāng)使切割片與樣品接觸面積小且保持不變，從而使切割過程中施加在切割片磨料上的壓力盡可能小并保持不變。同時，盡可能選用造成切割損傷小的切割設(shè)備。

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