XPS數(shù)據(jù)分析要注意什么

XPS數(shù)據(jù)解析是指通過(guò)對(duì)初始圖譜進(jìn)行定標(biāo)、分峰、擬合、比對(duì)、積分等一系列的操作而獲得待測(cè)樣品結(jié)構(gòu)組成一種數(shù)據(jù)處理手段，常用的XPS數(shù)據(jù)解析軟件有xps peak fit、Origin、CasaXPS等，通過(guò)XPS數(shù)據(jù)分析我們可得到樣品表面的元素組成、含量、化學(xué)價(jià)態(tài)、官能團(tuán)種類、化學(xué)鍵合方式等信息，可分為定性分析和定量分析兩種。

　　XPS數(shù)據(jù)分析注意事項(xiàng)

　　1. XPS可以做的項(xiàng)目：常規(guī)全譜窄譜測(cè)試、俄歇譜、價(jià)帶譜、深度濺射、MAPPING、角分辨

　　2. XPS測(cè)試的元素范圍是Li-Cm，H、He元素不能測(cè)試

　　3. XPS數(shù)據(jù)分析可以等到元素的價(jià)態(tài)及半定量數(shù)據(jù)。原子百分含量小于5%的元素可能測(cè)不出明顯信號(hào)

　　4. 無(wú)特殊說(shuō)明，默認(rèn)是使用單色化AlKa源(Mono AlKa)能量是1486.6eV

　　5. 使用Al Kα X-ray會(huì)出現(xiàn)的重疊譜峰，當(dāng)有重疊譜峰的時(shí)候直接定量的結(jié)果不能參考。下方是常見(jiàn)的一些重疊譜峰的情況，解決方法是

　　a.通過(guò)分峰擬合(這個(gè)是數(shù)據(jù)分析的內(nèi)容)后再重新定量;

　　b.測(cè)試其他軌道的峰，需要備注相應(yīng)的軌道，默認(rèn)是測(cè)試最強(qiáng)峰;

　　c.如果是與部分元素的俄歇峰重疊，建議可以更換靶材試試，比如Mg靶

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