XPS的樣品準備

XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)又稱ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis), 能夠分析出了氫，氦以外的所有元素。測定精確到0.1at%, 空間分辨率為100um, X-RAY的分析深度在1.5nm左右。

XPS的樣品一般是10mm*10mm*5mm, 也可以更小些。厚度不能超過5mm. 一般我的樣品5mm*5mm*1mm. XPS分析室的真空度可以達到<10E-9 Pa, 因此樣品要干燥，不能釋放氣體。xps的靈敏度很高，待測樣品表面，絕對不能用手，手套接觸。也不要清洗。

對于非導體樣品，由于表面電荷的累計，我們需要打開charge neutroliszer。