SEM測試干貨分享

1、SEM拍樣品截面需注意哪些？如何制樣？

對于脆性薄片如硅片、玻璃鍍膜片等可直接掰斷或敲斷；

對于高分子聚合物，有一定塑性和韌性，該法則不可取，可使用以下方法：

方法1：沖擊斷裂，該法得到斷面粗糙度比較大；

方法2：液氮脆斷，將樣品在液氮下脆化處理后瞬間折斷，可得到較為光滑平整的斷面；

方法3：離子切割，利用離子束拋光儀，通過離子束轟擊樣品截面，去除墨痕、碎屑和加工應變層；

方法4：冷凍超薄切片，超薄切片得到的樣品，更接近樣品固有狀態(tài)結(jié)構(gòu)，適用于韌性很強且硬度很大的樣品，如聚丙烯材料。

2、SEM拍攝的顆粒的邊界不清晰，比較渾濁，是什么原因呢？

1）首先可能是樣品的導電性的問題；

2）其次可能是樣品穩(wěn)定性的問題，若樣品不穩(wěn)定，在高壓下會導致顆粒分解，邊界不清等問題；

3）最后可能是SEM設(shè)備分辨率的問題，此時可以試一下高分辨的SEM。

3、SEM和TEM的EDS區(qū)別？

不管透射電鏡還是掃描電鏡，EDS的原理是一樣的，只是透射電鏡的電子束能聚的更小，探測的區(qū)域也更小，一般能到幾納米的量級，而掃描則沒這么好（不過好的場發(fā)射掃描電鏡也能夠達到10納米）。如果選擇的倍數(shù)差不多，不同的EDS數(shù)據(jù)肯定具有可比性。如果倍數(shù)差太多，就是大塊區(qū)域和微區(qū)的差別了。當然如果材料很均勻，也就沒關(guān)系了。

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