球差電鏡是測(cè)什么的

球差電鏡是測(cè)什么的？?球差電鏡可以在兩種模式下工作，分別是“TEM模式”和“STEM模式”，在TEM下更多是觀察形貌，在STEM模式下，可以做EDS和EELS成分線掃和mapping。

(1)TEM模式：

低倍形貌像、高分辨像、衍射、會(huì)聚束衍射、納米束衍射，EFTEM(配GIF系統(tǒng))，高分辨圖像透射束和衍射束的相干像，襯度與焦聚有關(guān)，如果要解析原子結(jié)構(gòu)像，樣品要求比較薄，現(xiàn)在用戶使用不多。

但如果想做原位電子顯微學(xué)研究，一般都在此模式下進(jìn)行。收集圖像的設(shè)備是CCD。

(2)STEM模式：

該模式下，可以使用各種明場(chǎng)和暗場(chǎng)探頭收集各種圖像。收集圖像種類有HADDF\LADDF\BF\ABF(JEOL)，STEM對(duì)結(jié)構(gòu)的表征更加細(xì)致。STEM和常規(guī)TEM一樣也分明場(chǎng)和暗場(chǎng)，但STEM常常和HAADF(一種高角環(huán)狀暗場(chǎng)探測(cè)器)連用以獲得材料的微區(qū)結(jié)構(gòu)及元素分布信息。它有優(yōu)勢(shì)得到的是原子結(jié)構(gòu)像，像的襯度與原子序數(shù)有關(guān)，用戶處理數(shù)據(jù)簡(jiǎn)單。EDS和EELS線掃描和面掃描都需要在此模式下進(jìn)行。

(3)Mapping(EDS/EDX)：

用于獲得合金、納米管、殼體材料等的元素分布，進(jìn)而輔助物相鑒定或結(jié)構(gòu)分析等，能量分辨率130ev，B之后都可以測(cè)，一般Na之后會(huì)比較準(zhǔn)。

(4)EELS(電子能量損失譜)：

利用入射電子引起材料表面電子電離、價(jià)帶電子激發(fā)、震蕩等，發(fā)生非彈性散射，用損失的能量來(lái)獲取表面原子的物理和化學(xué)信息的方法。通過(guò)電子能量損失譜(EELS)和X射線能譜儀(EDS)可以獲得樣品的化學(xué)信息，從而替換結(jié)構(gòu)信息。能量分辨率0.7ev，理論上Li之后的元素EELS都能夠測(cè)試，其中C、N、O、F、Mn、Fe、Ni、Cu等這些元素多些，但有些元素在高能區(qū)，不好測(cè)。

(5)HRTEM(高分辨像)：

用來(lái)觀測(cè)晶體內(nèi)部結(jié)構(gòu)、原子排布以及位錯(cuò)、孿晶等精細(xì)結(jié)構(gòu)。高分辨像是相位襯度像，是所有參加成像的衍射束與透射束因相位差而形成的干涉圖像。

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