白光干涉儀測(cè)量范圍

      白光干涉儀測(cè)量范圍怎么選擇？經(jīng)常有同學(xué)做白光干涉儀測(cè)試，卻不知道選多大范圍的？今天鑠思百檢測(cè)小編就詳細(xì)的跟大家講解一下哦

      白光干涉儀又叫做非接觸式光學(xué)3D表面輪廓儀，是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成用于樣品表面微觀形貌檢測(cè)的精密儀器。白光測(cè)量的粗糙度范圍從0.1nm到10μm。面和線粗糙度測(cè)量，可確保0.1nm的測(cè)量可靠性，不限制材質(zhì)和形狀。利用光波干涉原理 將被測(cè)表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來(lái)，并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測(cè)量，以得出被測(cè)表面粗糙度，可以輕松測(cè)量曲面粗糙度。

對(duì)所測(cè)樣品的尺寸，SuperViewW1白光干涉儀載物臺(tái)XY的行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍最大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí)，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量，檢測(cè)效率會(huì)比較低，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè)，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù)。

可以測(cè)到12mm的尺寸，也可以測(cè)到更小的尺寸，XY載物臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm，局部位移精度可達(dá)亞微米級(jí)別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um，Z向掃描電機(jī)可掃描10mm范圍，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級(jí)別，因此可測(cè)非常微小尺寸的器件。

白光干涉儀對(duì)樣品尺寸要求是：

1. 樣品需平整；

2.樣品尺寸不超過(guò)50*50mm就可以

武漢鑠思百檢測(cè)的白光干涉儀檢測(cè)項(xiàng)目有：

表面粗糙度+三維形貌、臺(tái)階高度/斷差+三維形貌、樣品的三坐標(biāo)測(cè)量+三維形貌

標(biāo)準(zhǔn)：

粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量Ra為0.2nm硅晶片Ra參數(shù)獲得；

臺(tái)階高性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量4.7μm臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

白光干涉儀測(cè)量范圍怎么選擇？

白光干涉儀   一個(gè)點(diǎn)的最大范圍是0.5mmX0.5mm,再大的范圍的需要拼接，超范圍的可以多做幾個(gè)點(diǎn)。